講演名 | 2006-01-19 高出力AlGaN/GaN MIS-HEMT(化合物半導体IC及び超高速・超高周波デバイス) 金村 雅仁, 吉川 俊英, 岩井 大介, 今西 健治, 久保 徳郎, 常信 和清, |
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抄録(和) | Si_3N_4絶縁ゲートを有するn-GaN/n-AlGaN/i-GaN高電子移動度トランジスタ(HEMT)を作製した。作製したMIS-HEMTは順方向リーク電流が従来のショットキーゲートデバイスと比べて8桁低減され、逆方向耐圧も400V以上あることが確認できた。また、GaN HEMT増幅器(1チップ)の特性としてドレイン電圧60V、周波数2.14GHzで出力110Wが得られた。 |
抄録(英) | A state-of-the-art large gate-periphery n-GaN/n-AlGaN/GaN MIS-HEMTs were fabricated on a S.I.-SiC substrate. The forward gate leakage current of the GaN MIS-HEMT was eighth orders of magnitude lower than that of the Schottky gate HEMT and the 2-terminal gate to drain reverse breakdown voltage of the GaN MIS-HEMT reaches greater than 400V. The single chip GaN MIS-HEMT amplifier operated at 60V achieves a high output power of 110W at 2.14GHz. |
キーワード(和) | AlGaN/GaN高電子移動度トランジスタ / 基地局 / MIS / Si_3N_4 |
キーワード(英) | AlGaN/GaN HEMT / Base Station / MIS / Si_3N_4 |
資料番号 | ED2005-208,MW2005-162 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | MW |
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開催期間 | 2006/1/12(から1日開催) |
開催地(和) | |
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幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Microwaves (MW) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 高出力AlGaN/GaN MIS-HEMT(化合物半導体IC及び超高速・超高周波デバイス) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | High Power AlGaN/GaN MIS-HEMT |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | AlGaN/GaN高電子移動度トランジスタ / AlGaN/GaN HEMT |
キーワード(2)(和/英) | 基地局 / Base Station |
キーワード(3)(和/英) | MIS / MIS |
キーワード(4)(和/英) | Si_3N_4 / Si_3N_4 |
第 1 著者 氏名(和/英) | 金村 雅仁 / Masahito KANAMURA |
第 1 著者 所属(和/英) | (株)富士通研究所 Fujitsu Laboratories Ltd. |
第 2 著者 氏名(和/英) | 吉川 俊英 / Toshihide KIKKAWA |
第 2 著者 所属(和/英) | (株)富士通研究所 Fujitsu Laboratories Ltd. |
第 3 著者 氏名(和/英) | 岩井 大介 / Taisuke IWAI |
第 3 著者 所属(和/英) | (株)富士通研究所 Fujitsu Laboratories Ltd. |
第 4 著者 氏名(和/英) | 今西 健治 / Kenji IMANISHI |
第 4 著者 所属(和/英) | (株)富士通研究所 Fujitsu Laboratories Ltd. |
第 5 著者 氏名(和/英) | 久保 徳郎 / Tokuro KUBO |
第 5 著者 所属(和/英) | (株)富士通研究所 Fujitsu Laboratories Ltd. |
第 6 著者 氏名(和/英) | 常信 和清 / Kazukiyo JOSHIN |
第 6 著者 所属(和/英) | (株)富士通研究所 Fujitsu Laboratories Ltd. |
発表年月日 | 2006-01-19 |
資料番号 | ED2005-208,MW2005-162 |
巻番号(vol) | vol.105 |
号番号(no) | 524 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |