| 講演名 | 2006-02-01 集光フェムト秒レーザー加工を用いたガラス表面上への微細構造の形成(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般) 早崎 芳夫, 河村 大樹, 西田 信夫, |
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| 抄録(和) | 本報告では, 焦点深度に対して十分に厚い膜を加工対象に塗布して加工を行うことで, 加工対象の融解や蒸発を低減や加工対象からの物質の飛散や融解物の流れ出しの低減ができることを示す.さらに, 透明材料の膜厚を調整することにより, 熱による加工領域の増大やプラズマによる材料放出の遮蔽効果により, 突起状の構造物を作製できることを示す.具体的には, 加工対象であるガラス表面にpoly-methyl methacrylate(PMMA)をコートして, エネルギーや集光位置を変化させてレーザーを照射したときに形成される構造の観察結果を示し, デブリや熱的ダメージの低減効果, さらに, 物質放出の遮蔽効果による微小突起の形成について述べる. |
| 抄録(英) | Morphology of a glass surface processed with a focused femtosecond laser pulse by applying a transparent coating is investigated. The transparent coating is implemented with poly-methyl methacrylate (PMMA). A thick PMMA film with the thickness that the surface is not ablated when a single pulse is focused to the glass-polymer interface reduces undesired thermal damage and debris. A submicrometer-sized cavity is produced with a reduction of debris and thermal damages. The coating thickness changes an amount of molecules in the focal volume, consequently an effect of plasma shielding changes. The PMMA film coated on the glass with thinner than the focus depth to increase a shielding effect makes a bump by positive use of glass melting. |
| キーワード(和) | フェムト秒レーザー加工 / 3次元加工 / 光デバイス / バンプ / ナノストラチャー |
| キーワード(英) | Femtosecond laser processing / three-dimensional processing / optical device / bump / nanostructure |
| 資料番号 | PN2005-80,OFT2005-67,OPE2005-128,LQE2005-143 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2006/1/25(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 集光フェムト秒レーザー加工を用いたガラス表面上への微細構造の形成(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Microstructures formed on glass with a focused femtosecond laser pulse |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フェムト秒レーザー加工 / Femtosecond laser processing |
| キーワード(2)（和/英） | 3次元加工 / three-dimensional processing |
| キーワード(3)（和/英） | 光デバイス / optical device |
| キーワード(4)（和/英） | バンプ / bump |
| キーワード(5)（和/英） | ナノストラチャー / nanostructure |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 早崎 芳夫 / Yoshio HAYASAKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 徳島大学工学部 Faculty of Engineering, The University of Tokushima |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 河村 大樹 / Daiki KAWAMURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 徳島大学工学部 Faculty of Engineering, The University of Tokushima |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 西田 信夫 / Nobuo NISHIDA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 徳島大学工学部 Faculty of Engineering, The University of Tokushima |
| 発表年月日 | 2006-02-01 |
| 資料番号 | PN2005-80,OFT2005-67,OPE2005-128,LQE2005-143 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 589 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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