| 講演名 | 2006-01-31 チップ間波長多重光配線用異周期DBRの一括干渉露光(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般) 麻田 卓男, 山口 智史, 堀井 篤, 西尾 謙三, 裏 升吾, 金高 健二, |
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| 抄録(和) | ボード内チップ間波長多重超広帯域光配線のために, 異なる周期の複数の分布ブラッグ反射器(DBR)を, 周期微調可能な干渉露光を用いて薄膜光導波路に集積することを検討している.今回, ロイドミラー干渉光学系にポリゴンミラーを用いた場合と, 円柱ミラーを用いた場合を検討した.8mm内に集積した8個のDBRで, 約3.0nm間隔の8波長を結合効率80%以上, クロストーク雑音-10dB以下で合分波機能を得られるように設計した.ポリゴンミラー方式においても±5%程度の周期微調が期待できる.円柱ミラー方式では周期チャープによる反射特性の劣化が危惧されたが, それでも2回露光により上記要求を満足できるDBRを作製できることを明らかにした. |
| 抄録(英) | Two types of interference exposure systems including Lloyd mirror optics were investigated for simultaneous integration of distributed Bragg reflectors (DBRs) of different grating periods in order to construct intra-board chip-to-chip WDM optical interconnects with thin film optical waveguide. Multiplexed wavelength pitch of 3nm and coupling efficiency higher than 80% were discussed with DBRs integrated within 8mm length. It was designed to compensate fabrication errors in optical interconnects board by tuning grating periods of DBRs. Exposure system with eight-face polygon mirror provides integration of sufficient performance DBRs though precise alignment is required in constructing Lloyd mirror optics. Chirped gratings generated by use of cylindrical mirror would be useful though two times exposure is needed. |
| キーワード(和) | 光インターコネクション / 薄膜光導波路 / 光集積回路 / 分布ブラッグ反射器 / 波長多重 / 干渉露光 / ロイドミラー |
| キーワード(英) | optical interconnection / optical thin film waveguide / optical integrated circuits / distributed Bragg reflectors / wavelength division multiplexing / interference exposure / Lloyd's mirror |
| 資料番号 | PN2005-69,OFT2005-56,OPE2005-117,LQE2005-132 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2006/1/24(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | チップ間波長多重光配線用異周期DBRの一括干渉露光(フォトニックNW・デバイス, フォトニック結晶・ファイバとその応用, 光集積回路, 光導波路素子, 光スイッチング, 導波路解析, 及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Simultaneous interference exposure of different-period DBRs for intra-board WDM optical interconnects |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光インターコネクション / optical interconnection |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜光導波路 / optical thin film waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | 光集積回路 / optical integrated circuits |
| キーワード(4)（和/英） | 分布ブラッグ反射器 / distributed Bragg reflectors |
| キーワード(5)（和/英） | 波長多重 / wavelength division multiplexing |
| キーワード(6)（和/英） | 干渉露光 / interference exposure |
| キーワード(7)（和/英） | ロイドミラー / Lloyd's mirror |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 麻田 卓男 / Takuo ASADA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 Kyoto Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山口 智史 / Satoshi YAMAGUCHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 Kyoto Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 堀井 篤 / Atsushi HORII |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 Kyoto Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 西尾 謙三 / Kenzo NISHIO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 Kyoto Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 裏 升吾 / Shogo URA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 Kyoto Institute of Technology |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 金高 健二 / Kenji KINTAKA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
| 発表年月日 | 2006-01-31 |
| 資料番号 | PN2005-69,OFT2005-56,OPE2005-117,LQE2005-132 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 591 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |