| 講演名 | 2006/1/20 C-S-Au膜の3次非線形電気光学効果特性 加藤 慎也, 鈴木 幹典, 鈴木 健志, 森田 慎三, 落合 鎮康, |
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| 抄録(和) | 3次の電気感受率χ^<(3)>として1.7×10^<-8> esuが、プラズマCVDとスパッタリング共同プロセスで作成されたC-S-Au膜によって測定された。これは、Nd YAGレーザを用いたMaker-fringe法によって測定された。このC-S-Au膜は、平行平板電極を有するプラズマCVD装置を用いたプラズマCVD、とグラファイト製上部電極上に金板を設置した電極のスパッタリングを同時に行い、ガラスとSiウェハー基板を下部電極上に置き、作成した。この膜は、炭素-硫黄-金(C-S-Au)の分子が、アモルファス炭素膜中に分散している構造をゆうしていると予測される。 |
| 抄録(英) | 1.7×10^<-8> esu as third order susceptibility (χ^<(3)>) was measured on the C-Au-S film formed by cooperation process of plasma CVD and sputtering, which was measured by the Maker fringe method using a pulsed Nd YAG laser. The film was prepared by using plasma CVD reactor with a disk type parallel plate discharge electrodes. An Au plate was set on the graphite upper electrode for the sputtering and glass and Si wafer substrates were placed on the lower electrode grounded through the reaction chamber. The molecules of carbon-sulfur-gold (C-S-Au) are expected to be dispersed in the amorphous carbon film. |
| キーワード(和) | 3次の電気感受性χ^<(3)> / 炭素-硫黄-金(C-S-Au)膜 / プラズマCVD-スパッタリング共同プロセス |
| キーワード(英) | third order susceptibility (χ^<(3)>) / carbon-sulfur-gold (C-S-Au) film / cooperation process of plasma CVD and sputtering |
| 資料番号 | OME2005-110 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2006/1/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | C-S-Au膜の3次非線形電気光学効果特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Third Order Non-linear Electro-optic Effect of C-S-Au Film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 3次の電気感受性χ^<(3)> / third order susceptibility (χ^<(3)>) |
| キーワード(2)（和/英） | 炭素-硫黄-金(C-S-Au)膜 / carbon-sulfur-gold (C-S-Au) film |
| キーワード(3)（和/英） | プラズマCVD-スパッタリング共同プロセス / cooperation process of plasma CVD and sputtering |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 加藤 慎也 / Shinya Kato |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学部 Department of Electronic Information System, School of Engineering, Nagoya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鈴木 幹典 / Mikinori Suzuki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学部 Department of Electronic Information System, School of Engineering, Nagoya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鈴木 健志 / Takeshi Suzuki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学部 Department of Electronic Information System, School of Engineering, Nagoya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 森田 慎三 / Shinzo Morita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学部 Department of Electronic Information System, School of Engineering, Nagoya University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 落合 鎮康 / Shizuyasu Ochiai |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 愛知工業大学工学研究科 Department of Electrical Engineering, Aichi Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2006/1/20 |
| 資料番号 | OME2005-110 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 576 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |