| 講演名 | 2005/8/26 マイクロマシンで作るPDMSチャンバの中でのブラウン運動の観察と制御(センサデバイス・MEMS・一般) アルティンタシ エリスィン, ボリンゲル カール F., 藤田 博之, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | We encapsulated a silicon nanoneedle of 3.5μm in length and 170nm in diameter with an approximate aspect ratio of 20 in a 6μm diameter-PDMS microchamber containing DI water. We could observe Brownian motion of the nanoneedles. The nanoneedle can experience rotational motion. The control of the motion and alignment are accomplished by an electric field. Silicon nanoneedles having high aspect ratios such as 20 are possible if nanobeads are used as mask in Deep RIE of silicon. After an ultrasonic bath, needles can be collected by centrifuging. PDMS chambers 2, 4, 6, and 8μms in diameter and 2.2μm in depth are fabricated by replicating structures on SOI wafer. The needle solution is sandwiched between a glass substrate and PDMS chambers. Observation is done by an inverted microscope. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | Brownian motion / micromachining / PDMS chambers / nanobeads / Si nanoneedles |
| 資料番号 | ED2005-117,OME2005-43 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
|---|---|
| 開催期間 | 2005/8/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
|---|---|
| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | マイクロマシンで作るPDMSチャンバの中でのブラウン運動の観察と制御(センサデバイス・MEMS・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Observing and Taming the Brownian Motion in Micromachined PDMS Chambers |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / Brownian motion |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | アルティンタシ エリスィン / Ersin ALTINTAS |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学生産技術研究所 CIRMM, IIS, The University of TOKYO |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | ボリンゲル カール F. / Karl F. BOHRINGER |
| 第 2 著者 所属（和/英） | ワシントン大学 The University of WASHINGTON |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 藤田 博之 / Hiroyuki FUJITA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京大学生産技術研究所 CIRMM, IIS, The University of TOKYO |
| 発表年月日 | 2005/8/26 |
| 資料番号 | ED2005-117,OME2005-43 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 258 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |