講演名 2002/6/24
A New Junction Termination in Power Semiconductor Devices employing Trench
,
PDFダウンロードページ PDFダウンロードページへ
抄録(和)
抄録(英) We have proposed a new junction termination method by employing a shallow oxide trench in order to decrease the junction termination area without sacrificing the breakdown voltage characteristics of the power semiconductor devices. The proposed trench floating field-limiting ring structure decrease the total junction termination area by reducing the space between field-limiting rings (FLR). Reduced space can be obtained due to reduced lateral diffusion region and lower dielectric constant of the silicon dioxide. Our simulations results show that the total junction termination area is considerably decreased with same breakdown voltage condition. Junction termination area of 600V rated device is decreased by 20% compared with that of the conventional FLR structure.
キーワード(和)
キーワード(英) junction termination / field-limiting ring / breakdown
資料番号 ED2002-129
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 2002/6/24(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 ENG
タイトル(和)
サブタイトル(和)
タイトル(英) A New Junction Termination in Power Semiconductor Devices employing Trench
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) / junction termination
第 1 著者 氏名(和/英) / Jae-Keun OH
第 1 著者 所属(和/英)
School of Electrical Eng. #50, Seoul National University
発表年月日 2002/6/24
資料番号 ED2002-129
巻番号(vol) vol.102
号番号(no) 175
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日