| 講演名 | 2002/4/19 O_260GHz帯およびCO115GHz帯吸収スペクトラム計測 鈴木 俊達, 村上 貴治, 手島 裕司, 渡辺 康夫, |
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| 抄録(和) | CVD半導体材料合成におけるガス分析や大気伝搬特性のラボラトリ計測等様々な要求に応え得るシステムとして,筆者らはin-situガスセンサを提案している.in-situガスセンサはミリ・サブミリ波帯に存在する様々な分子の吸収スペクトラムを利用しガスの組成・温度などを計測する高精度・高機能なシステムである.しかし,これを実現するには様々なガススペクトラムのラボラトリ計測を通して理論式を示し,スペクトラムと組成・温度などの関係を明らかにすることが必要となる.本稿においてはまず60GHz帯大気中酸素及び純酸素スペクトラムの計測と純酸素スペクトラムモデルの導出について示す.次に一酸化炭素スペクトラムのモデルの導出と計測を併せて行い,その結果からスペクトラム計測による温度・圧力診断について示す. |
| 抄録(英) | One of the attractive industrial applications of millimeter/submillimeter wave gas spectroscopy is the embodiment of in-situ gas sensors used for various gas processes ranging from air pollution gas emission control to CVD gas synthesis in the next generation semiconductors such as super-carbon, as well as used for laboratory measurements necessary for radiometry analysis. Such in-situ gas sensors will be capable of simultaneous measurement of composition, temperature and pressure of extended gas sources on a real time basis, a great advantage over conventional gas sensors. The derivation of the state parameters from the measured spectrum requires establishing the spectrum model for various gasses with laboratory measurement, and the relationship between these parameters and the spectrum shape. This paper is to present the results of the atmospheric and pure oxygen absorption at 60GHz band and derivation of new pure oxygen spectrum model. The CO spectrum measurement at 115GHz and derivation of CO spectrum model is also shown with analysis of temperature and pressure. |
| キーワード(和) | in-situ計測 / 共振ベクトル解析 / 濃度特性 / 酸素 / 一酸化炭素 / スペクトラムモデル |
| キーワード(英) | In-situ Measurement / Vector Analysis of Resonance / Concentration Characteristics / O_2 gas / CO gas |
| 資料番号 | SANE2002-1 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SANE |
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| 開催期間 | 2002/4/19(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Space, Aeronautical and Navigational Electronics (SANE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | O_260GHz帯およびCO115GHz帯吸収スペクトラム計測 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Absorption Spectrum Measurement for O_2 60GHz Band and CO 115GHz Band |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | in-situ計測 / In-situ Measurement |
| キーワード(2)（和/英） | 共振ベクトル解析 / Vector Analysis of Resonance |
| キーワード(3)（和/英） | 濃度特性 / Concentration Characteristics |
| キーワード(4)（和/英） | 酸素 / O_2 gas |
| キーワード(5)（和/英） | 一酸化炭素 / CO gas |
| キーワード(6)（和/英） | スペクトラムモデル |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴木 俊達 / Toshitatsu SUZUKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本工業大学電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Nippon Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 村上 貴治 / Takaharu MURAKAMI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本工業大学電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Nippon Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 手島 裕司 / Yuji TESHIMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本工業大学電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Nippon Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 渡辺 康夫 / Yasuo WATANABE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本工業大学電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Nippon Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2002/4/19 |
| 資料番号 | SANE2002-1 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 39 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |