| 講演名 | 2002/4/15 10GHz帯ZnO/ダイヤモンド構造SAWフィルタに関する検討 岡安 大輔, 大森 達也, 橋本 研也, 山口 正恆, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | ダイヤモンドは弾性表面波速度が非常に大きい特徴などから,これを用いたデバイスの応用研究が盛んに行われている.本研究では,ZnO/IDT/ダイヤモンド構造に着目し,10GHz帯で動作するSAWフィルタの作製を目指し,検討を行った.まず,ZnO/ダイヤモンド構造を伝搬するSAWの位相速度ならびに電器機械結合係数の理論解析を行い,最適な構造について検討を行った.次に,直流対向ターゲット式スパッタ(DC-TFTS)法によるダイヤモンド基板上へのZnO薄膜の作製に関して検討を行った.またIDTの微細化に関して,電子線露光による直接描画法とリフトオフを組み合わせた方法により検討を行った.そして,中心周波数約8.6GHzのSAWフィルタを試作した. |
| 抄録(英) | Recently, surface acoustic waves(SAW) devices employing diamond films are paid much attention because of its extraordinary high velocities. This paper describes fabrication of SAW filters with ZnO/IDT/diamond structure operating in 10 GHz range. First, SAW propagation in the structure was investigated. Second, the device fabrication process was investigated. Very fine IDTs were fabricated on the diamond film by the use of the lift-off process in the combination with the electron-beam lithography. ZnO films was deposited by the target facing type of sputtering method with DC power source. The SAW response was clearly observed at 8.6 GHz. |
| キーワード(和) | SAWフィルタ / ZnO / ダイヤモンド / DC-TFTS法 / 電子線露光法 / リフトオフ |
| キーワード(英) | SAW filter / ZnO / diamond / DC-TFTS method / EB photolithography / lift-off process |
| 資料番号 | US2002-1 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
|---|---|
| 開催期間 | 2002/4/15(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 10GHz帯ZnO/ダイヤモンド構造SAWフィルタに関する検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A study of 10 GHz range SAW filter with ZnO / diamond structure |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SAWフィルタ / SAW filter |
| キーワード(2)（和/英） | ZnO / ZnO |
| キーワード(3)（和/英） | ダイヤモンド / diamond |
| キーワード(4)（和/英） | DC-TFTS法 / DC-TFTS method |
| キーワード(5)（和/英） | 電子線露光法 / EB photolithography |
| キーワード(6)（和/英） | リフトオフ / lift-off process |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岡安 大輔 / Daisuke OKAYASU |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千葉大学 大学院 自然科学研究科 Graduate School of Science and Technology, Chiba University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大森 達也 / Tatsuya OMORI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 千葉大学 工学部 Dept. Electronics and Mechanical Eng., Chiba University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 橋本 研也 / Kenya HASHIMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 千葉大学 工学部 Dept. Electronics and Mechanical Eng., Chiba University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山口 正恆 / Masatsune YAMAGUCHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 千葉大学 工学部 Dept. Electronics and Mechanical Eng., Chiba University |
| 発表年月日 | 2002/4/15 |
| 資料番号 | US2002-1 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 30 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |