| 講演名 | 2005/11/17 ポリイミド静電容量型湿度センサの薄膜化による高感度化の検討(機能性有機薄膜・一般) 金森 裕太, 伊東 栄次, 宮入 圭一, |
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| 抄録(和) | 良好な吸湿性を持つポリイミドは、静電容量型湿度センサに応用されている。ポリイミド単層の場合には、相対湿度に対して静電容量がほぼ直線的に変化し、温度依存性もほとんど無かった。しかし、誘電正接に関しては、1kHz以下の領域で値が増加してしまった。これはおそらくイオン分極による影響、もしくは電極から注入された電荷による漏れ電流が原因と考えている。一方、電極間の短絡を防ぐために陽極酸化法による酸化タンタルを導入し、ポリイミドの薄膜化を試みた結果、静電容量は高感度で良好な直線性を示し、誘電正接は低周波において大幅に改善され、さらに温度依存性もより少ないものとなった。また、薄膜化されたポリイミドでも応答速度は2秒程度とセンサとして十分な値を示した。 |
| 抄録(英) | Polyimide has moisture absorption is applicable as a humidity sensor. In the case of single layered polyimide humidity sensor consisting of Au/Polyimide(700nm)/Au, sensor responded linearly to changes in relative humidity, and showed small temperature dependence. However, this type of sensor showed very high dielectric loss tangent when frequency is below 1kHz. This is probably because of ionic polarization or leakage current of injected charge from electrode. On the other hands, thin double layered polyimide sensor consisting of Ta/Ta_2O_5(50nm)/polyimide(50-200nm)/Au showed better linearly and high sensitive. Dielectric loss tangent was lower in addition. This sensor also exhibit small temperature dependence and responded more quickly than single layered, speed of response was 2 second. |
| キーワード(和) | ポリイミド / 湿度センサ / 酸化タンタル / 過渡応答 / 高感度 |
| キーワード(英) | Polyimide / Humidity sensor / Tantalum Oxide / Transit response / High sensitive |
| 資料番号 | OME2005-86 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2005/11/17(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ポリイミド静電容量型湿度センサの薄膜化による高感度化の検討(機能性有機薄膜・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of high sensitive humidity sensor using very thin polyimide film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ポリイミド / Polyimide |
| キーワード(2)（和/英） | 湿度センサ / Humidity sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 酸化タンタル / Tantalum Oxide |
| キーワード(4)（和/英） | 過渡応答 / Transit response |
| キーワード(5)（和/英） | 高感度 / High sensitive |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 金森 裕太 / Yuta KANAMORI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 伊東 栄次 / Eiji ITOH |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 宮入 圭一 / Keiichi MIYAIRI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 発表年月日 | 2005/11/17 |
| 資料番号 | OME2005-86 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 425 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |