| 講演名 | 2005-11-12 有機EL素子用ITO薄膜の作製と検討(薄膜プロセス・材料, 一般) 槻尾 浩一, 竹内 正樹, 森下 和哉, 清水 英彦, 丸山 武男, 川上 貴浩, 星 陽一, |
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| 抄録(和) | 透明有機EL素子用のITO薄膜の低温作製を検討するために, RF-DC結合型スパッタ法を用いてITO薄膜を作製した。その結果, 50℃以下の低温でITO膜の作製が可能であった。また, この方法により作製したITO膜は, 全てアモルファスであり, 膜の表面粗さが1nm以下, 仕事関数が約4.8eV, 抵抗率が約5×10^<-4>Ω・cmの値を示した。RF-DC結合型スパッタ法により作製したITO膜を有機EL素子の陽極電極として使用した場合, 市販のネサガラスを使用した場合に比べ, 素子特性は劣るものの, この方法で作製したITO薄膜を陽極電極に適用しても発光を確認することができた。 |
| 抄録(英) | In order to examine deposition method of the ITO films for transparent organic light emitting diode (OLED) at the low-temperature, the ITO films was prepared by RF-DC coupled magnetron sputtering (RF-DC MS) method. As a result, ITO films deposited by the RF-DC MS method obtained at temperature below 50℃. ITO films deposited by the RF-DC MS method were amorphous and those films had surface roughness (Ra) below 1nm, work function of about 4.8eV and resistivity of 5×10^<-4>Ω・cm. Compared with the luminescence and electrical characteristic of an OLED used nesa glass, the OLED used the ITO film deposited by RF-DC MS method had poor luminescence and electrical characteristic. However, luminescence was able to be observed from the OLED which used the ITO film deposited by RF-DC MS method. |
| キーワード(和) | ITO薄膜 / RF-DC結合型スパッタ法 / 低温製膜 / アモルファス / 有機EL素子 |
| キーワード(英) | ITO thin film / RF-DC coupled magnetron sputtering method / low temperature deposition / amorphous / organic light emitting diodes (OLEDs) |
| 資料番号 | CPM2005-170 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2005/11/5(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 有機EL素子用ITO薄膜の作製と検討(薄膜プロセス・材料, 一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation and examination of ITO thin film for organic EL Device |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ITO薄膜 / ITO thin film |
| キーワード(2)（和/英） | RF-DC結合型スパッタ法 / RF-DC coupled magnetron sputtering method |
| キーワード(3)（和/英） | 低温製膜 / low temperature deposition |
| キーワード(4)（和/英） | アモルファス / amorphous |
| キーワード(5)（和/英） | 有機EL素子 / organic light emitting diodes (OLEDs) |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 槻尾 浩一 / Kouichi TSUKIO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 新潟大学自然科学研究科 Guraduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 竹内 正樹 / Masaki TAKEUTI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 新潟大学自然科学研究科 Guraduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 森下 和哉 / Kazuya MORISITA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 新潟大学自然科学研究科 Guraduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 清水 英彦 / Hidehiko SHIMIZU |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部:新潟大学超域研究機構 Faculty of Engineering, Niigata University:Center for Transdisciplinary Research, Niigata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 丸山 武男 / Takeo MARUYAMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 川上 貴浩 / Tkahiro KAWAKAMI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 星 陽一 / Yoichi HOSHI |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東京工芸大学工学部 Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnics University |
| 発表年月日 | 2005-11-12 |
| 資料番号 | CPM2005-170 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 394 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |