| 講演名 | 2005-11-17 小型カンチレバー型MEMSスイッチの高周波特性(ミリ波技術/一般) 西野 有, 半谷 正毅, 出尾 晋一, 曽田 真之介, 吉田 幸久, 宮崎 守泰, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | シリコン基板に金メッキ技術とニッケルを犠牲層としたマイクロマシニング技術を用い, また, 接点を駆動するバイアス電圧を高周波線路に重畳させることで, 小型化を実現したRF-MEMSスイッチの測定結果については既に報告している。ここでは, このスイッチの高周波特性を表す等価回路を検討し, 駆動電極の高周波特性を加味した等価回路を報告する。得られた等価回路は高周波特性を実測値と比較することで, その妥当性を検証した。 |
| 抄録(英) | A compact RF-MEMS switch was developed by using micromachining process with plated gold and sacrificial material of nickel. We have already reported the measurement results. In this report, an equivalent circuit model is presented for the compact cantilever type MEMS switch, and the roles of components in the model are discussed. The extracted characteristics have good agreement with the measured results. |
| キーワード(和) | マイクロマシン / スイッチ |
| キーワード(英) | Micromachining / RF-MEMS / Switch |
| 資料番号 | ED2005-159,MW2005-114 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
|---|---|
| 開催期間 | 2005/11/10(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Microwaves (MW) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 小型カンチレバー型MEMSスイッチの高周波特性(ミリ波技術/一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | RF characteristics of a compact cantilever type MEMS switch |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロマシン / Micromachining |
| キーワード(2)（和/英） | スイッチ / RF-MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 西野 有 / Tamotsu Nishino |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 半谷 正毅 / Masatake Hangai |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 出尾 晋一 / Shinichi Izuo |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 曽田 真之介 / Shinnosuke Soda |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 吉田 幸久 / Yukihisa Yoshida |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Information Technology R&D Center |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 宮崎 守泰 / Moriyasu Miyazaki |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 三菱電機(株)情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. Advanced Technology R&D Center |
| 発表年月日 | 2005-11-17 |
| 資料番号 | ED2005-159,MW2005-114 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 401 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |