| 講演名 | 2005/11/18 プラズマチャンバー内における複数の異常放電発生箇所推定法(システムオンシリコン及び一般) 槌田 直, 尾保手 茂樹, 鹿子嶋 憲一, |
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| 抄録(和) | プラズマチャンバー内で起こる複数の異常放電発生箇所推定法を提案する.推定においてはMUSIC(Multiple Signal Classification)法を用いた到来方向推定法を用いている.FDTD(Finite Difference Time Domain)法を用いた電磁界解析によりシミュレーションを行った結果, 放電箇所が複数箇所の場合においても位置推定が可能であることを示す. |
| 抄録(英) | We propose a source location method of multiple electrical discharge in a plasma chamber. This method is based on a Direction Of Arrival (DOA) estimation with MUSIC (Multiple Signal Classification). A numerical simulation is carried out by FDTD (Finite Difference Time Domain) method. The simulation results show our proposed method can estimate a source location of multiple electrical discharge. |
| キーワード(和) | プラズマチャンバー / 複数異常放電 / 位置推定 |
| キーワード(英) | Plasma Chamber / Multiple electrical discharge / Source location / MUSIC / FDTD |
| 資料番号 | SIS2005-56 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SIS |
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| 開催期間 | 2005/11/18(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Smart Info-Media Systems (SIS) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プラズマチャンバー内における複数の異常放電発生箇所推定法(システムオンシリコン及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study on Source Location of Multiple Electrical Dischargein a Plasma Chamber |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プラズマチャンバー / Plasma Chamber |
| キーワード(2)（和/英） | 複数異常放電 / Multiple electrical discharge |
| キーワード(3)（和/英） | 位置推定 / Source location |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 槌田 直 / Sunao TSUCHIDA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 茨城大学工学部メディア通信工学科 Department of Media and Telecommunications Engineering, The College of Engineering, Ibaraki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 尾保手 茂樹 / Shigeki OBOTE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 茨城大学工学部メディア通信工学科 Department of Media and Telecommunications Engineering, The College of Engineering, Ibaraki University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鹿子嶋 憲一 / Kenichi KAGOSHIMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 茨城大学工学部メディア通信工学科 Department of Media and Telecommunications Engineering, The College of Engineering, Ibaraki University |
| 発表年月日 | 2005/11/18 |
| 資料番号 | SIS2005-56 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 427 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |