| 講演名 | 2005-10-21 書き換え型HD DVD量産に適したSiOC低屈折率膜(光記録技術、一般) 佐藤 裕広, 中居 司, 芦田 純生, 柚須 圭一郎, |
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| 抄録(和) | 我々はHD DVDの書き換え型媒体が、現行DVD同等の量産性を有することを実証した。20GBの容量を持つHD DVDの単層タイプの書き換え型媒体には、クロスイレースを低減するために、SiO_2のような低屈折率膜が必要となる。低屈折率材料の成膜速度は他の膜に比べ非常に遅く、媒体の大量生産時にボトルネックとなる可能性が大きい。我々は高い成膜速度が実現可能である新しい低屈折率材料"SiOC"を開発した。SiOC膜はアルゴンと酸素の混合ガス中でスパッタリングによってSiCターゲットを使って形成される。結果として単位電力あたりの成膜速度はSiO_2ターゲットを使った場合の3倍程度高い値が得られた。さらに、SiOC膜を用いた20GBのHD DVD単層書き換え型媒体がSiO_2膜を用いた媒体と同様に、良好な記録特性を有することを確認した。 |
| 抄録(英) | We have demonstrated that the single-layer type HD DVD rewritable media can be manufactured at a speed similar to conventional rewritable DVDs in mass production. The single-layer type HD DVD rewritable media with 20GB data capacity requires the low refractive index film such as silicon dioxide (SiO_2) to reduce cross-erase. The deposition rates of lower refractive index materials are much lower than other films used for the media, thus it can be a bottleneck in mass-production. We have developed a new low refractive index material "SiOC", which enables higher deposition rates. The SiOC film is formed using a SiC target with Ar and O_2 gas mixture by the sputter deposition method. The resultant deposition rate per sputter power is about three times higher than the rate of the deposition using a SiO_2 target. We demonstrated that the single-layer type HD DVD rewritable media with 20GB using SiOC film had good recording characteristics similar to the disc using a SiO_2 film. |
| キーワード(和) | 書き換え型 / 相変化 / low to high極性 / 低屈折率材料 |
| キーワード(英) | HD DVD / rewritable / phase change / low to high signal polarity / low refractive index material / SiOC |
| 資料番号 | CPM2005-146 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2005/10/14(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 書き換え型HD DVD量産に適したSiOC低屈折率膜(光記録技術、一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A New Dielectric Film "SiOC" Having the Low Refractive Index for the Mass Production of the Rewritable HD DVD Media |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 書き換え型 / HD DVD |
| キーワード(2)（和/英） | 相変化 / rewritable |
| キーワード(3)（和/英） | low to high極性 / phase change |
| キーワード(4)（和/英） | 低屈折率材料 / low to high signal polarity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 佐藤 裕広 / Yasuhiro SATOH |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センター記憶材料デバイスラボラトリー Storage Materials and Devices Labs., Corporate Research and Development Center, Toshiba Corp. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中居 司 / Tsukasa NAKAI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センター記憶材料デバイスラボラトリー Storage Materials and Devices Labs., Corporate Research and Development Center, Toshiba Corp. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 芦田 純生 / Sumio ASHIDA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センター記憶材料デバイスラボラトリー Storage Materials and Devices Labs., Corporate Research and Development Center, Toshiba Corp. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 柚須 圭一郎 / Keiichiro YUSU |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (株)東芝デジタルメディアネットワーク社コアテクノロジーセンター Core Technology Center, Digital Media Network Company, R&D Division, Toshiba Corp. |
| 発表年月日 | 2005-10-21 |
| 資料番号 | CPM2005-146 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 360 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |