| 講演名 | 2005-10-14 超伝導薄膜で磁気分離されたストリップライン間の相互インダクタンス(エレクトロニクス) 水柿 義直, 波木井 秀充, 守屋 雅隆, 宇佐美 興一, 小林 忠行, |
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| 抄録(和) | 大規模ジョセフソン集積回路の実現に向けた課題のひとつに, バイアスラインとデバイス間の磁気分技術の向上がある.これまでのところ, 最も効果的な磁気分離方法として, バイアスラインとデバイスの間に超伝導薄膜による磁気シールド層を挟む方法が知られている.しかしながら, 超伝導磁気シールド薄膜は有限の厚さであり, よって, それを透過する磁束を定量的に評価する必要がある.本研究では, 超伝導薄膜(膜厚400nm)で磁気分離されたストリップライン間の相互インダクタンスについて, 数値計算と実験による評価を行った.数値計算では3次元形状インダクタンス抽出プログラムFastHenryを, 実験では一般的なSQUID法を使用した.2本の超伝導マイクロストリップライン間の相互インダクタンスについて, その間に挿入した超伝導磁気シールド層の幅を変えながら評価した.数値計算結果と実験結果は比較的良く一致した.超伝導磁気シールド層の幅が十分広いとみなせる条件下において, 相互インダクタンスは大きく減少した.しかしながら, 相互インダクタンス値はゼロとはならないことも確認された.これらの結果は, ジョセフソン集積回路における超伝導磁気シールド層の有効性と限界の両方を示すものである. |
| 抄録(英) | Magnetic isolation is an important issue in the realization of Josephson LSIs. Although a subterranean power line structure has been introduced in the state-of-the-art Nb integration technology, flux penetration through a superconducting shielding layer of finite thickness has not been fully investigated. In this report, we demonstrate our quantitative evaluation of mutual inductance coupled through a superconducting thin film by means of both numerical calculation (using the FastHenry program) and experiments (using the SQUID method). We confirm that the measured values of mutual inductance agree with the numerical ones. The results proves that the mutual coupling is reduced with increasing the shield layer width, but that the finite mutual coupling remains even at the widest shield layer both in our numerical and experimental situations. |
| キーワード(和) | 相互インダクタンス / 磁気シールド / マイスナー効果 |
| キーワード(英) | mutual inductance / magnetic shield / Meissner effect / SQUID / FastHenry |
| 資料番号 | SCE2005-20 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2005/10/7(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 超伝導薄膜で磁気分離されたストリップライン間の相互インダクタンス(エレクトロニクス) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Mutual Inductance Coupled through a Superconducting Magnetic Isolation Layer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 相互インダクタンス / mutual inductance |
| キーワード(2)（和/英） | 磁気シールド / magnetic shield |
| キーワード(3)（和/英） | マイスナー効果 / Meissner effect |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 水柿 義直 / Yoshinao MIZUGAKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 電気通信大学電気通信学部電子工学科 Department of Electronic Engineering, The University of Electro-Communications |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 波木井 秀充 / Hidemitsu HAKII |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 電気通信大学電気通信学部電子工学科 Department of Electronic Engineering, The University of Electro-Communications |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 守屋 雅隆 / Masataka MORIYA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 電気通信大学電気通信学部電子工学科 Department of Electronic Engineering, The University of Electro-Communications |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 宇佐美 興一 / Kouichi USAMI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 電気通信大学電気通信学部電子工学科 Department of Electronic Engineering, The University of Electro-Communications |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 小林 忠行 / Tadayuki KOBAYASHI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 電気通信大学電気通信学部電子工学科 Department of Electronic Engineering, The University of Electro-Communications |
| 発表年月日 | 2005-10-14 |
| 資料番号 | SCE2005-20 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 334 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |