| 講演名 | 2002/6/26 Fabrication of hyperboloid drum structures for photonic quantum ring nano-lasers using chemically assisted ion beam etching , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | We report characteristics of fabricated hyperboloid drum structures for electro-pumped quantum ring nano-lasers using chemically assisted ion beam etching with Ar: Cl_2: BCl_3 = 5: 2: 3 sccm, the substrate temperature 20-60℃ and at a large tilt angle = 50° for various etching modes. The active region diameters, the etched waist of ～ 8 μm-tall hyperboloid drum (the sidewall angle = 15-25°), can be adjusted down to ～ 0.1μm for the single quantum ring definition. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | Chemically assisted ion beam etching (CAIBE) / Photonic Quantum Ring (PQR) / nanoscale semiconductor laser |
| 資料番号 | SDM2002-126 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2002/6/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of hyperboloid drum structures for photonic quantum ring nano-lasers using chemically assisted ion beam etching |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / Chemically assisted ion beam etching (CAIBE) |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Jun-Youn Kim |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Department of Electronic and Electrical Engineering, Pohang University of Science and Technology |
| 発表年月日 | 2002/6/26 |
| 資料番号 | SDM2002-126 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 180 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |