| 講演名 | 2002/8/15 Al系材料を用いた100V耐圧横形ショットキーバリアダイオードの検討 澄田 仁志, 平林 温夫, |
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| 抄録(和) | 電源用ICや各種駆動用ICなどのパワーICでは出力特性の低消費電力化の目的から、高速・低損失ダイオードの搭載が要求されている。今回、これらのパワーICに搭載可能な高速・低損失横形ダイオードの検討として、バリア金属に純AlとAl-Si-Cuを用い、コンタクトホールの形成方法を変化させた数種の100V耐圧横形ショットキーバリアダイオードを実験的に試作・評価した。逆回復特性はダイオードの形成条件に依らずPiNダイオードに比して良好な特性が得られた。しかし、形成条件差は静特性に顕著に現れた。逆方向特性はコンタクトホールの形成条件に強く依存し、またAl-Si-Cuを用いたダイオードは温度特性が不安定になった。 |
| 抄録(英) | Several 100V-lateral schottky barrier diodes for power ICs have experimentally investigated. We have used Al and Al-Si-Cu for barrier metal of the diode, and have varied the etching process for the contact hole. All fabricated schottky barrier diodes showed excellent reverse recovery characteristics compared with a PiN diode. The Reverse blocking characteristics of the schottky barrier diodes strongly depended on the contact etching process. And the characteristics of schottky barrier diodes formed by Al-Si-Cu became disordered under high temperature. |
| キーワード(和) | ショットキーバリアダイオード / PiNダイオード / パワーIC / 純Al / Al-Si-Cu |
| キーワード(英) | Schottky Barrier Diode / PiN Diode / Power IC / Pure Al / Al-Si-Cu |
| 資料番号 | SDM2002-139 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2002/8/15(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Al系材料を用いた100V耐圧横形ショットキーバリアダイオードの検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Experimental Investigations of 100V-Lateral Schottky Barrier Diodes using Al and Al-Si-Cu for Barrier Metal |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ショットキーバリアダイオード / Schottky Barrier Diode |
| キーワード(2)（和/英） | PiNダイオード / PiN Diode |
| キーワード(3)（和/英） | パワーIC / Power IC |
| キーワード(4)（和/英） | 純Al / Pure Al |
| キーワード(5)（和/英） | Al-Si-Cu / Al-Si-Cu |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 澄田 仁志 / Hitoshi Sumida |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富士電機(株) IC第2開発部 IC Development Dept. 2, Fuji Electric Co., Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 平林 温夫 / Astuo Hirabayashi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富士電機(株) IC第2開発部 IC Development Dept. 2, Fuji Electric Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 2002/8/15 |
| 資料番号 | SDM2002-139 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 271 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |