| 講演名 | 1999/12/2 メモリフェイルビッドマップの故障パターン分類・原因類推システム 伊藤 敦, 中前 幸治, 藤岡 弘, |
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| 抄録(和) | フェイルビットデータからマクロレベルとミクロレベルの2段階で故障パターンを抽出・分類し、その結果を故障原因類推の専門家の知識と照らし合わせることによって故障原因類推を支援するシステムの構築を目指している。マクロレベル、ミクロレベルのフェイルビットマップ(FBM)画像からそれぞれ予め定義してある故障パターンへの分類を行い、注目するマクロレベル故障パターン中のミクロレベル各故障パターンの内訳から、各故障パターンと故障原因との対応関係を用いることによって故障原因となった工程と、その工程で起こっている故障現象の類推が可能となる。また、各故障パターン毎にマクロレベルFBMを再構築し、画像のモーメント値を計算することによってウェーハ上における故障パターン毎の分布推定を行っている。 |
| 抄録(英) | We have developed the automatic system that classifies failure patterns from fail bit maps and estimates the causes of failure. The system consists of three steps, the macro level failure pattern classification, the micro level failure pattern classification and the cause estimation based on the comparison of two level classified results with the expert knowledge. In the macro and micro levels, the failure patterns are classified into five kinds and six kinds, respectively. The system also shows a short summary of the failure pattern distribution over the wafer. The system was applied to fail bit map data from recent DRAM devices to show its validity. |
| キーワード(和) | フェイルビットマップ / 故障パターン分類 / 故障分布 / 故障原因類推 |
| キーワード(英) | fail bit map / failure pattern classification / failure distribution / cause estimation |
| 資料番号 | ICD99-221 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 1999/12/2(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | メモリフェイルビッドマップの故障パターン分類・原因類推システム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fail pattern classification and analysis system of memory fail bit maps |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フェイルビットマップ / fail bit map |
| キーワード(2)（和/英） | 故障パターン分類 / failure pattern classification |
| キーワード(3)（和/英） | 故障分布 / failure distribution |
| キーワード(4)（和/英） | 故障原因類推 / cause estimation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 伊藤 敦 / A. Ito |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪大学大学院工学研究科情報システム工学専攻 Department of Information Systems Engineering, Faculty of Engineering, Osaka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中前 幸治 / K. Nakamae |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪大学大学院工学研究科情報システム工学専攻 Department of Information Systems Engineering, Faculty of Engineering, Osaka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 藤岡 弘 / H. Fujioka |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪大学大学院工学研究科情報システム工学専攻 Department of Information Systems Engineering, Faculty of Engineering, Osaka University |
| 発表年月日 | 1999/12/2 |
| 資料番号 | ICD99-221 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 485 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |