| 講演名 | 1999/12/13 スタンプ法による有機材料の構造形成と電界放出型微小電子源への応用 馬場 昭好, 岩本 正和, 浅野 種正, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 有機材料の特徴を活かした、新しい電子源構造の形成法であるスタンプ法における最適な材料およびプロセス条件について述べる。スタンプ法とは、あらかじめ成形した型を有機材料に対し、加圧することにより型の形状を有機材料に転写する技術である。加圧は、大気中で試料を加熱して行った。有機材料としてはノボラック樹脂を主成分とするフォトレジストおよびポリイミドを用いた。ポリイミドのように熱耐性が高く、温度に対して機械的物性値の変化が少ない材料がスタンプ法に適していることが分かった。また、スタンプ面全体に均一なエミッタ構造を転写するためには、型および有機材料表面に「ガス抜き」のための構造を形成する必要があることが分かった。この方法によりエミッタ構造を形成した後、イオンビーム改質して導電性を発現させたエミッタよりμAオーダーの電界放出電流が得られることを確認した。 |
| 抄録(英) | We investigate an optimum stamping condition and preferable materials for successful fabrication of field electron emitter array fabricated using a stamp technique, which was proposed for fabrication of carbon-based field emitters. In this technique, a structure of field emitter array is fabricated by pressing a mold into an organic material. A positive-type photoresist and a polyimide were used for a starting material. It is found that a high-temperature immunity material such as polyimide is more preferable for use in the stamp technique. Furthermore,in order to fabricate a uniform structure all over a stamping area, it is necessary to fabricate a escape path of gas from a stamping area. Field emission current of the order μA was obtained from emitters thus prepared and modified with the ion-beam irradiation. |
| キーワード(和) | スタンプ法 / イオンビーム改質 / ノボラック樹脂 / ポリイミド / 微小電子源 / フィールドエミッタアレイ |
| キーワード(英) | the stamp technology / ion beam modification / novolac resin / polyimide / field emitter array |
| 資料番号 | ED99-242 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
|---|---|
| 開催期間 | 1999/12/13(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スタンプ法による有機材料の構造形成と電界放出型微小電子源への応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Micro-structures from Organic Materials Using a Stamp Technology and Its Appliocation to Cold Emitter Arrays |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | スタンプ法 / the stamp technology |
| キーワード(2)（和/英） | イオンビーム改質 / ion beam modification |
| キーワード(3)（和/英） | ノボラック樹脂 / novolac resin |
| キーワード(4)（和/英） | ポリイミド / polyimide |
| キーワード(5)（和/英） | 微小電子源 / field emitter array |
| キーワード(6)（和/英） | フィールドエミッタアレイ |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 馬場 昭好 / Akiyoshi Baba |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州工業大学マイクロ化総合技術センター Center for Microelectronic Systems, Kyushu Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岩本 正和 / Masakazu Iwamoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州工業大学マイクロ化総合技術センター Center for Microelectronic Systems, Kyushu Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 浅野 種正 / Tanemasa Asano |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 九州工業大学マイクロ化総合技術センター Center for Microelectronic Systems, Kyushu Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1999/12/13 |
| 資料番号 | ED99-242 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 497 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |