講演名 1999/10/21
サブミクロン分解能を持つ極低温顕微ホトルミネセンス測定装置
吉本 昌広, 後藤 基貴, 更家 淳司,
PDFダウンロードページ PDFダウンロードページへ
抄録(和) 通常の光学系を用いた顕微ホトルミネセンス(PL)観測装置では、光プローブ顕微鏡に比べて分解能で劣るものの、高感度で良好なS/N比をもってPLを観測することができる。本研究では、大きな開口数をもつ高分解能対物レンズをクライオスタット内に装填した新しい顕微PL装置を開発し、極低温で分解能がサブミクロンのPL像を得た。試料の最低到達温度は15Kであった。MOMBE成長GaAs_<0.67>P_<0.33>の顕微PL像を測定することで、開口数から期待される理論限界(波長666nmにおいて0.35μm)とほぼ同じ分解能を得ていることを確認した。また、MBE成長GaNにおける、立方晶と六方晶の混在の様子を2次元的に観察した。
抄録(英) We have developed a novel system to obtain a photoluminescence (PL) image with a spatial resolution in a range of sub-μm at 15K. The microscopic PL equipment using ordinary optics shows a PL image with both a spatial resolution in an order of the wavelength of light and a much higher signal yield than that of a scanning near-field optical microscope (SNOM). The spatial resolution of the equipment was confirmed to be almost equal to the theoretical resolution based on an observation of a PL image of GaAsP. The spatial distribution of cubic and hexagonal phases of GaN grown on sapphire by MBE was discriminated in a sub-μm range.
キーワード(和) 顕微ホトルミネセンス / 極低温測定 / サブミクロン分解能 / GaAsP / GaN / ポリタイプ
キーワード(英) microscopic PL / cryogenic measurement / sub-μm resolution / GaAsP / GaN / polytypism
資料番号 CPM99-103
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 1999/10/21(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) サブミクロン分解能を持つ極低温顕微ホトルミネセンス測定装置
サブタイトル(和)
タイトル(英) Cryogenic photoluminescence microscope with sub-μm scale resolution
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 顕微ホトルミネセンス / microscopic PL
キーワード(2)(和/英) 極低温測定 / cryogenic measurement
キーワード(3)(和/英) サブミクロン分解能 / sub-μm resolution
キーワード(4)(和/英) GaAsP / GaAsP
キーワード(5)(和/英) GaN / GaN
キーワード(6)(和/英) ポリタイプ / polytypism
第 1 著者 氏名(和/英) 吉本 昌広 / Masahiro Yoshimoto
第 1 著者 所属(和/英) 京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
Department of Electronics & Information Science, Kyoto Institute of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 後藤 基貴 / Motoki Goto
第 2 著者 所属(和/英) 京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
Department of Electronics & Information Science, Kyoto Institute of Technology
第 3 著者 氏名(和/英) 更家 淳司 / Junji Saraie
第 3 著者 所属(和/英) 京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
Department of Electronics & Information Science, Kyoto Institute of Technology
発表年月日 1999/10/21
資料番号 CPM99-103
巻番号(vol) vol.99
号番号(no) 378
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日