| 講演名 | 1999/11/11 AlGaAs/LiNbO_3構造SAW素子の光応答特性 須田 隆也, 青木 裕介, 洪 哲雲, 兼城 千波, 黄 啓新, 宝川 幸司, |
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| 抄録(和) | ELO技術を用いて作製した、半導体薄膜と圧電材料を結合させたSAW素子によれば、半導体中のキャリアとSAWとの高効率のカップリングが可能であり,高い機能性を持つ複合素子が実現できる.本研究では,AlGaAs/LiNbO_3結合SAWデバイスについて、光励起キャリアによる伝搬特性の評価を行い、さらに電荷転送の確認を行った.また、光変調によるSAWの変調を確認できた.その結果、半導体結合SAWデバイスにより、移相器や光信号処理への応用が可能と考えられた. |
| 抄録(英) | SAW devices coupled with semiconductors have been fabricated by epitaxial lift off (ELO) process and film bonding technology. It is found that an insertion attenuation and a phase shift correspond to excitation carriers by illumination. The transfer characteristics of SAW device were obtained owing to excitation carrier. These results indicated that SAW devices coupled with compound semiconductors are applied to a phase shifter and signal processor for optical signal. |
| キーワード(和) | SAWデバイス / ELOプロセス / AlGaAs/LiNbO_3構造 / HACT / ACT |
| キーワード(英) | SAW device / ELO Process / AlGaAs/LiNbO_3structure / HACT / ACT |
| 資料番号 | US99-66 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1999/11/11(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | AlGaAs/LiNbO_3構造SAW素子の光応答特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Photo response of SAW devices with AlGaAs/LiNbO_3 structure |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SAWデバイス / SAW device |
| キーワード(2)（和/英） | ELOプロセス / ELO Process |
| キーワード(3)（和/英） | AlGaAs/LiNbO_3構造 / AlGaAs/LiNbO_3structure |
| キーワード(4)（和/英） | HACT / HACT |
| キーワード(5)（和/英） | ACT / ACT |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 須田 隆也 / T. Suda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep. Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 青木 裕介 / Y. Aoki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep. Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 洪 哲雲 / C. Hong |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep. Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 兼城 千波 / C. Kaneshiro |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep. Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 黄 啓新 / K. Koh |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep. Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 宝川 幸司 / K. Hohkawa |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep. Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1999/11/11 |
| 資料番号 | US99-66 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 422 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |