| 講演名 | 2005-07-15 MEMS-CMOS集積化技術によるシリコンスマートマイクロセンサ(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI) 高尾 英邦, 澤田 和明, 石田 誠, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 半導体技術に基づくリソグラフィー技術や、各種材料の堆積、エッチング、接合技術を駆使することで、マイクロチップ上に様々な微小構造、デバイスを一括形成する技術をMEMS技術という。シリコンの微小機械構造を用いて物理量を電子信号に変換するシリコンMEMSセンサは、超小型かつ軽量で測定対象に与える影響が小さく、さらには集積回路の一体化も可能なため、理想的なセンサシステムを実現可能である。本稿では、MEMS-CMOS集積化技術によって実現されるシリコンスマートマイクロセンサ技術を紹介し、スマートセンサの形態、モノリシック・スマートセンサの特徴について議論する。また、MEMS-CMOS集積化とスマートセンサに適するCMOS回路技術について紹介する。 |
| 抄録(英) | MEMS is a batch fabrication technology of integrated micro structures and electron devices using lithography, material deposition, etching, and wafer bonding based on semiconductor technology. Silicon MEMS microsensors translate various physical or mechanical values into electronic signal with their integrated micro mechanical structures. They have advantages of miniature size, light-weight, and intelligence by signal processing circuits integrated on the same die with silicon technology. In this article, technology development of silicon smart microsensors realized by MEMS-CMOS integration technology is introduced. Also, realization strategy of CMOS-MEMS microsensors, and advantages of monolithically integrated smart sensors, and CMOS circuits for high performance smart sensors are discussed. |
| キーワード(和) | MEMS技術 / CMOS技術 / センサ / マイクロマシン / シリコン技術 |
| キーワード(英) | MEMS Technology / CMOS Technology / Sensors / Micromachines / Silicon Technology |
| 資料番号 | ICD2005-62 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
|---|---|
| 開催期間 | 2005/7/8(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MEMS-CMOS集積化技術によるシリコンスマートマイクロセンサ(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Silicon Smart Microsensors based on MEMS-CMOS Integration Technologies |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS技術 / MEMS Technology |
| キーワード(2)（和/英） | CMOS技術 / CMOS Technology |
| キーワード(3)（和/英） | センサ / Sensors |
| キーワード(4)（和/英） | マイクロマシン / Micromachines |
| キーワード(5)（和/英） | シリコン技術 / Silicon Technology |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高尾 英邦 / Hidekuni TAKAO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学インテリジェントセンシングシステムリサーチセンター Intelligent Sensing System Research Center, Toyohashi University of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 澤田 和明 / Kazuaki SAWADA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学インテリジェントセンシングシステムリサーチセンター Intelligent Sensing System Research Center, Toyohashi University of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 石田 誠 / Makoto ISHIDA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学インテリジェントセンシングシステムリサーチセンター Intelligent Sensing System Research Center, Toyohashi University of Technology |
| 発表年月日 | 2005-07-15 |
| 資料番号 | ICD2005-62 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 185 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |