| 講演名 | 2005-09-09 Measurement of Inner-chip Variation and Signal Integrity By a 90-nm Large-scale TEG , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | We have developed the world first measurement methodology of both inner chip variation and SI(signal integrity) in a same 90nm large scale TEG(Test Element Group). |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | Inner chip variation / Signal Integrity / 90nm / Large scale TEG |
| 資料番号 | CPM2005-103,ICD2005-113 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2005/9/2(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Measurement of Inner-chip Variation and Signal Integrity By a 90-nm Large-scale TEG |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / Inner chip variation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Masaharu Yamamoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Semiconductor Technology Academic Research Center (STARC) |
| 発表年月日 | 2005-09-09 |
| 資料番号 | CPM2005-103,ICD2005-113 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 266 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |