| 講演名 | 1994/10/27 Si電界放出アレイの電界放出電流特性 中津 竜之, 馬場 清, 石川 直敏, 下岡 丈次, 内池 平樹, |
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| 抄録(和) | 電子源に電界放出アレイを用いた平面壁CRTは、電界放出型ディスプレイ(FED)と呼ばれている。FEDはいくつかの点で液晶ディスプレイより優れており、実用化に向けて大変関心を集めている。本研究ではフォトレジスト加工により、金属で覆われたn形シリコンの電界放出アレイを作製した。また交流逆電界法を用いることにより、電界放出により放出された電子のエネルギー分布を測定し、考察を行った。 |
| 抄録(英) | Flat panel CRT to use field emitter arrays(FEAS)for electron source is called Field Emission Display(FED).The FED has several advantage as compared with LCDs,the FED has been taken an extreme interest for practical use. In the present paper,we fabricated the FEAs made of n-type silicon covered with the metal by photolithography.We measured the energy distribution of the field emitted electrons by an ac retarding field method,and considered their reults. |
| キーワード(和) | 電界放出型ディスプレイ / トンネル効果 / エネルギー分布 / 交流逆電界法 |
| キーワード(英) | Field Emission Display / tunneling effect / energy distribution / ac retarding field method |
| 資料番号 | EID94-57 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 1994/10/27(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | Si電界放出アレイの電界放出電流特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characteristics of Emission Current from Silicon Field Emitter Arrays |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電界放出型ディスプレイ / Field Emission Display |
| キーワード(2)（和/英） | トンネル効果 / tunneling effect |
| キーワード(3)（和/英） | エネルギー分布 / energy distribution |
| キーワード(4)（和/英） | 交流逆電界法 / ac retarding field method |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 中津 竜之 / Ryoji Nakatsu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engineering,Hiroshima University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 馬場 清 / Kiyoshi Baba |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engineering,Hiroshima University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 石川 直敏 / Naotoshi Ishikawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engineering,Hiroshima University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 下岡 丈次 / Jyoji Shitaoka |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engineering,Hiroshima University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 内池 平樹 / Heiju Uchiike |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engineering,Hiroshima University |
| 発表年月日 | 1994/10/27 |
| 資料番号 | EID94-57 |
| 巻番号（vol） | vol.94 |
| 号番号（no） | 307 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |