| 講演名 | 1994/2/16 In/BRBO/STO(Nb)トランジスタの静特性のベース膜厚依存性(I) 槙田 毅彦, 戸田 典彦, 阿部 仁志, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 我々は、In, (Ba,Rb)BiO_3/SrTiO_3(Nbドープ)トランジスタを作製し、その電気特性のベース膜厚依存性を調べた。(Ba,Rb)BiO_3薄膜は、0.1wt%NbをドープしたSrTiO_3基板上に濃縮オゾンを用いた分子線エピタキシ法で、基板温度370℃で作製した。その膜厚は成膜時間を変えることにより制御した。ベース接地の出力特性から求めた伝達係数(α)はベース膜厚に依存した。伝達係数から見積った特性長は温度に依存しないことから、ベース膜中のキャリアの散乱は不純物散乱と考えられる。 |
| 抄録(英) | The In, (Ba,Rb)BiO_3/SrTiO_3(Nb-doped)transistor was fabricated and dependence of base thickness of electrical properties was investigated.The(Ba,Rb)BiO_3 thin films was grown on Nb-soped SrTiO_3(110)substrate by molecular beam epitaxy using distilled ozone at substrate tmeperature of ～370℃.Thickness of base films w as controlled by deposition time.Output characteristics for the In(Ba,Rb)BiO_3/SrTiO_3(Nb)transistor in common-base configuration were measured and transport coefficience(α)from output characteris tics depended on base thickness.Characteristic length of transport coefficience was independent of temperature.Therefore carrier in base film was scattering by the impurity. |
| キーワード(和) | In/(Ba,Rb)BiO_3/SrTiO_3(Nb)トランジスタ / ベース膜厚 / 伝達係数 |
| キーワード(英) | In/Ba,Rb)BiO_3/rTiO_3(Nb)transistor / Base thickness / Transport coefficience |
| 資料番号 | SCE93-67,CPM93-121 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
|---|---|
| 開催期間 | 1994/2/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | In/BRBO/STO(Nb)トランジスタの静特性のベース膜厚依存性(I) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Dependence of base thickness of electrical properties for In/BRBO/ STO(Nb)transistor(I) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | In/(Ba,Rb)BiO_3/SrTiO_3(Nb)トランジスタ / In/Ba,Rb)BiO_3/rTiO_3(Nb)transistor |
| キーワード(2)（和/英） | ベース膜厚 / Base thickness |
| キーワード(3)（和/英） | 伝達係数 / Transport coefficience |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 槙田 毅彦 / Takehiko Makita |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 沖電気工業 Oki Electric Industry Co.,Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 戸田 典彦 / Fumihiko Toda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 沖電気工業 Oki Electric Industry Co.,Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 阿部 仁志 / Hitoshi Abe |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 沖電気工業 Oki Electric Industry Co.,Ltd. |
| 発表年月日 | 1994/2/16 |
| 資料番号 | SCE93-67,CPM93-121 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 461 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |