| 講演名 | 1994/2/16 スパッタ法による無限層薄膜作製と積層化 足立 秀明, 佐藤 利文, 瀬恒 謙太郎, |
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| 抄録(和) | 無限層薄膜をスパッタ法を用いて作製し、超伝導体化および積層化の試みを行った。無限層構造は酸素還元ターゲットを用いることにより、スパッタ法で安定に薄膜として得ることができた。SrCuO_2無限層薄膜のSrをNdで置換した場合、置換量と共に電気抵抗が低下をみせ高圧合成のバルクと同様に超伝導性が出現した。積層はSrCuO_2, (Sr,Ca)CuO_2と(Sr,Ca)CuO_2/(Sr,Ca)RuO_3の2つの構造について試み実現できた。無限層薄膜に特有な面欠陥構造は、任意の積層構造により抑制が可能なことが判った。 |
| 抄録(英) | ″Infinite-layer″ superconducting thin films and multilayers hav e been prepared by spurrering method.Using the sputtering target with reduced oxygen contents,infinitelayer structure was obtained stably in thin films.Substitution of Sr by Nd was tried and the(Sr, Nd)CuO_2 film showed superconductivity similar to the ceramics made by highpressure sintering.As for the infinite-layer multilayers,we succeeded in the preparation of SrCuO_2, (Sr,Ca)CuO_ 2 and(Sr,Ca)CuO_2/(Sr,Ca)RuO_3 structures.It was found that the planar dislocation could be restrained by the multilayer structure. |
| キーワード(和) | 無限層 / 超伝導体 / 薄膜 / 積層 / スパッタ |
| キーワード(英) | infinite-layer / superconductor / thin film / multilayer / sputtering |
| 資料番号 | SCE93-59,CPM93-113 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 1994/2/16(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スパッタ法による無限層薄膜作製と積層化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of infinite-layer thin films and multilayers by sputtering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 無限層 / infinite-layer |
| キーワード(2)（和/英） | 超伝導体 / superconductor |
| キーワード(3)（和/英） | 薄膜 / thin film |
| キーワード(4)（和/英） | 積層 / multilayer |
| キーワード(5)（和/英） | スパッタ / sputtering |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 足立 秀明 / Hideaki Adachi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 松下電器産業 Matsushita Electric Industrial |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 佐藤 利文 / Toshifumi Satoh |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 松下電器産業 Matsushita Electric Industrial |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 瀬恒 謙太郎 / Kentaro Setsune |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 松下電器産業 Matsushita Electric Industrial |
| 発表年月日 | 1994/2/16 |
| 資料番号 | SCE93-59,CPM93-113 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 461 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |