| 講演名 | 2004-12-14 MEMS技術応用による光回折型音響センサの研究(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,フォトニック結晶,MEMS)光ファイバ,一般) 鈴木 和拓, 舟木 英之, 成瀬 雄二郎, |
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| 抄録(和) | CMOSプロセスとマイクロマシン技術を基盤とした新構造の音響センサについて研究を推進している。汎用のCMOSプロセスとMEMSポストプロセスによって、この音響センサの振動板には2次元の回折格子が形成されている。振動板に直接光波を照射し、その回折パターンをフォトディテクタによってモニタする。つまり、振動板の振動変位を光強度の変化量として検出している。本稿では、このMEMS技術を基盤とした光回折型音響センサが実現する機能について、その概要と初期実験結果について報告する。 |
| 抄録(英) | We have researched on a new acoustic sensor based on complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) - micro electro mechanical systems (MEMS) micromachining techniques. The diaphragm of the acoustic sensor has a diffracting grating fabricated by the CMOS process with only a small number of post-processes. The MEMS-based optical acoustic sensor replaces the displacement of the grating pattern on the photo detector with the amount of the change in the optical intensity, and has detected the vibrating change in the diaphragm. This paper reports the outline and an initial experiment result about the function which this MEMS-based optical diffraction acoustic sensor realizes. |
| キーワード(和) | MEMS / CMOS / 音響センサ / マイクロフォン / 圧力傾度型センサ / 回析格子 |
| キーワード(英) | MEMS / CMOS / acoustic sensor / microphone / pressure gradient sensor / diffraction grating |
| 資料番号 | OPE2004-180 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2004/12/7(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MEMS技術応用による光回折型音響センサの研究(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,フォトニック結晶,MEMS)光ファイバ,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study on the Optical Diffraction Acoustic Sensor by MEMS Technology Application |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(3)（和/英） | 音響センサ / acoustic sensor |
| キーワード(4)（和/英） | マイクロフォン / microphone |
| キーワード(5)（和/英） | 圧力傾度型センサ / pressure gradient sensor |
| キーワード(6)（和/英） | 回析格子 / diffraction grating |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴木 和拓 / Kazuhiro SUZUKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 株式会社 東芝 研究開発センター Toshiba Corporation, Corporate Research and Development Center |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 舟木 英之 / Hideyuki FUNAKI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 株式会社 東芝 研究開発センター Toshiba Corporation, Corporate Research and Development Center |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 成瀬 雄二郎 / Yujiro NARUSE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 株式会社 東芝 研究開発センター Toshiba Corporation, Corporate Research and Development Center |
| 発表年月日 | 2004-12-14 |
| 資料番号 | OPE2004-180 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 507 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |