講演名 2004/11/12
圧電休・強誘電体と弾性波デバイス
宇野 武彦,
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抄録(和) 発振器やフィルタおよび遅延信号との相関を利用した信号処理素子など、周波数あるいは時間領域での機能デバイス、すなわち周波数制御デバイスでは、固体中の弾性波が多く利用される。弾性波デバイスでは通常、電気振動と弾性波(機械振動)の結合に圧電性が用いられる。圧電性による弾性波を利用すると小型、高安定、高Qなどの特徴があり、移動体通信における周波数制御デバイスとして、他のデバイスには置き換え難い。圧電弾性波デバイスの性能を左右する第一の要因は圧電材料である。ここでは、圧電材料として極めて重要な、タンタル酸リチウム(LiTaO_3)および水晶を中心とした研究の一端を紹介し、結晶薄膜の展望についても若干触れる。
抄録(英) Elastic waves in solid are widely utilized for frequency control devices such as oscillators, filters in high frequency regions and signal processing devices. In the frequency control devices, piezoelectricity is used to couple between electric signal and ultrasonic wave. By using the piezoelectricity, compact and high stable devices are possible to realize. In this paper, some examples of elastic wave devices using piezoelectricity are described. Because there are many papers and books about the piezoelectric devices, I focus attention on some special examples of devices by LiTaO_3 and quartz. Furthermore, a new trial to fabricate single crystal thin film on glass substrate is described.
キーワード(和) 弾性波デバイス / 圧電体 / タンタル酸リチウム / 水晶 / 薄膜結晶
キーワード(英) elastic wave devices / piezoelectric material / lithium tantalite / quartz / crystal thin film
資料番号 EMD2004-86
発行日

研究会情報
研究会 EMD
開催期間 2004/11/12(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electromechanical Devices (EMD)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 圧電休・強誘電体と弾性波デバイス
サブタイトル(和)
タイトル(英) Piezoelectric Materials and Elastic Wave Devices
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 弾性波デバイス / elastic wave devices
キーワード(2)(和/英) 圧電体 / piezoelectric material
キーワード(3)(和/英) タンタル酸リチウム / lithium tantalite
キーワード(4)(和/英) 水晶 / quartz
キーワード(5)(和/英) 薄膜結晶 / crystal thin film
第 1 著者 氏名(和/英) 宇野 武彦 / Takehiko UNO
第 1 著者 所属(和/英) 神奈川工科大学電気電子工学科
Department of Electronic and Electronics Eng., Kanagawa Institute of Techonology
発表年月日 2004/11/12
資料番号 EMD2004-86
巻番号(vol) vol.104
号番号(no) 451
ページ範囲 pp.-
ページ数 8
発行日