| 講演名 | 2005/6/17 シリカ系誘電体超構造薄膜の諸特性(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般) 霜鳥 寛崇, 藤塚 俊, 野毛 悟, 宇野 武彦, |
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| 抄録(和) | 我々は、異なる4価の元素をドープしたシリカ系薄膜を各々数ナノオーダーの極薄膜として、周期的に積層し形成した誘電体超構造薄膜を提案し、圧電性、可視発光等の特性について検討を行っている。薄膜はRFマグネトロンスパッタによって製膜する。従来、ドープ材料として、ゲルマニウムおよびチタンの金属ペレット、スズの酸化物ペレットを用いていた。今回、全てのドープ材料を酸化物ペレットとした場合の特性について検討を行った。超構造薄膜の圧電性が分極に起因することを確認するために、異常光起電圧効果および焦電効果に着目し検討を行った。シリカ系誘電体超構造薄膜は、圧電性の安定化に有効であるだけでなく、紫外光を照射することにより可視光を発光する。さらに、薄膜に熱処理を施すことにより、発光強度が増大することがわかった。 |
| 抄録(英) | We previously proposed a dielectric super-structure thin film of silica glass. The super-structure is composed of periodic silica glass layers of Ge:SiO_2, Ti:SiO_2 and Ge:SiO_2. The thickness of each layer is a few nanometers. The poling treatment for the super-structure thin film produces piezoelectricity and other useful phenomena. The films were fabricated by an RF-magnetron sputtering with a silica target. Previously, we used metal pellets for doping germanium and titanium. In this paper we report the characteristics of the super-structure thin films fabricated by using oxide pellets. The characteristics were improved by using the oxide pellets for the doping sources. |
| キーワード(和) | シリカ / 誘電体 / 超構造 / 異常光起電力効果 / 焦電効果 / 可視発光 |
| キーワード(英) | silica / dielectric / super-structure / anomalous photovolic effects / pyroelectric effect / visible emission |
| 資料番号 | EMD2005-15,CPM2005-54,OME2005-29 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2005/6/17(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シリカ系誘電体超構造薄膜の諸特性(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Behaviors of dielectric super-structure thin films composed of silicate glass nano layers |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリカ / silica |
| キーワード(2)（和/英） | 誘電体 / dielectric |
| キーワード(3)（和/英） | 超構造 / super-structure |
| キーワード(4)（和/英） | 異常光起電力効果 / anomalous photovolic effects |
| キーワード(5)（和/英） | 焦電効果 / pyroelectric effect |
| キーワード(6)（和/英） | 可視発光 / visible emission |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 霜鳥 寛崇 / Hirotaka SHIMOTORI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科工学科 Dept. of Electrical and Electronic Eng., Faculty of Engineering, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤塚 俊 / Shun FUJITSUKA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科工学科 Dept. of Electrical and Electronic Eng., Faculty of Engineering, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 野毛 悟 / Satoru NOGE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科工学科 Dept. of Electrical and Electronic Eng., Faculty of Engineering, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 宇野 武彦 / Takehiko UNO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科工学科 Dept. of Electrical and Electronic Eng., Faculty of Engineering, Kanagawa Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2005/6/17 |
| 資料番号 | EMD2005-15,CPM2005-54,OME2005-29 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 141 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |