| 講演名 | 2005/2/24 カーボンナノチューブトランジスタ : デバイス化に向けた精密成長制御(表示記録用有機材料及びデバイス・一般) 石田 真彦, 本郷 廣生, 二瓶 史行, 落合 幸徳, |
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| 抄録(和) | カーボンナノチューブ(CNT)をトランジスタ材料として用いるためには、位置、直径、半導体/金属分離などの特性制御が必須であるとされている。しかし、あまりにターゲットのサイズが小さい(∿1nm)のために、従来の半導体リソグラフィ手法などの様なデバイス化技術としての要求を満たす方法はほとんど提案されていない。そこで、CNT成長に用いる触媒微粒子の位置と直径を、直接リソグラフィを用いて制御できる新しい微粒子合成法Lithographically anchored nanoparticle synthesis (LANS)を開発し、CNT成長を行った。その結果、ほとんど単層ナノチューブのみを基板の特定の位置に配置することに成功した。 |
| 抄録(英) | We report the novel synthesis method of iron nanoparticles that can easily control both position and diameter significantly smaller than the lithography limit, and also demonstrate diameter- and position-controlled single-walled carbon nanotube (SWNT) growth from the nanoparticles. |
| キーワード(和) | 単層カーボンナノチューブ / 電界効果トランジスタ / 電子線リソグラフィ / カリックスアレン |
| キーワード(英) | Single-walled carbon nanotube / Field effect transistor / Electron-beam lithography / Calixarene |
| 資料番号 | EID2004-88,OME2004-135 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2005/2/24(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | カーボンナノチューブトランジスタ : デバイス化に向けた精密成長制御(表示記録用有機材料及びデバイス・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Carbon Nanotube Transistor : Top-down Growth Control for Device Integration |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 単層カーボンナノチューブ / Single-walled carbon nanotube |
| キーワード(2)（和/英） | 電界効果トランジスタ / Field effect transistor |
| キーワード(3)（和/英） | 電子線リソグラフィ / Electron-beam lithography |
| キーワード(4)（和/英） | カリックスアレン / Calixarene |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石田 真彦 / Masahiko ISHIDA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NEC基礎・環境研究所 NEC Fundamental and Environmental Research Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 本郷 廣生 / Hiroo HONGO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NEC基礎・環境研究所 NEC Fundamental and Environmental Research Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 二瓶 史行 / Fumiyuki NIHEY |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NEC基礎・環境研究所 NEC Fundamental and Environmental Research Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 落合 幸徳 / Yukinori OCHIAI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NEC基礎・環境研究所 NEC Fundamental and Environmental Research Laboratories |
| 発表年月日 | 2005/2/24 |
| 資料番号 | EID2004-88,OME2004-135 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 688 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |