| 講演名 | 2005-01-27 ULSIデバイス解析評価技術の現状と今後 : LSIの将来の生命線を握る解析技術(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術, テスト実装, 一般) 益子 洋治, |
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| 抄録(和) | ULSIデバイスの解析評価技術現状をいくつかの事例をあげて解説するとともに、今後デバイスの進展に伴う解析評価技術の課題について展望する。 |
| 抄録(英) | Current state of analysis-evaluation technology for ULSI devices is describes with some cases actually analyzed. And, the challenges of the analysis evaluation technology in the future progress of the ULSI devices is discussed. |
| キーワード(和) | 解析技術 / 評価技術 / 故障解析 / 故障診断 / 物理解析 |
| キーワード(英) | ULSI / analysis / evaluation / failure analysis / fault isolation / physical analysis |
| 資料番号 | CPM2004-159,ICD2004-204 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2005/1/20(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ULSIデバイス解析評価技術の現状と今後 : LSIの将来の生命線を握る解析技術(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術, テスト実装, 一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Current challenges and the future of evaluation analysis technology of ULSI : The technology as a lifeline of LSI in the future |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 解析技術 / ULSI |
| キーワード(2)（和/英） | 評価技術 / analysis |
| キーワード(3)（和/英） | 故障解析 / evaluation |
| キーワード(4)（和/英） | 故障診断 / failure analysis |
| キーワード(5)（和/英） | 物理解析 / fault isolation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 益子 洋治 / Yoji Mashiko |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 株式会社ルネサステクノロジ生産本部 Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp. |
| 発表年月日 | 2005-01-27 |
| 資料番号 | CPM2004-159,ICD2004-204 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 628 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |