| 講演名 | 2005/5/20 MOVPE法によるR面サファイア上GaNの高速成長(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料)) 古川 寛子, 岡留 由真, 土屋 陽祐, 本塩 彰, 津田 道信, 岩谷 素顕, 上山 智, 天野 浩, 赤崎 勇, |
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| 抄録(和) | MOVPE法を用いR面サファイア上にA面GaNの成長を検討した。その結果、50μm/h以上の高速成長で、平坦かつ結晶品質の優れた結晶が得られた。 |
| 抄録(英) | A-plane GaN was grown on R-Plane sapphire by MOVPE. Growth rate higher than 50μm/h was achieved. A-plane GaN thus obtained shows flat surface and high-crystalline quality. |
| キーワード(和) | R面サファイア / A面GaN / 高速成長 |
| キーワード(英) | R-plane Sapphire / A-plane GaN / high-growth rate |
| 資料番号 | ED2005-54,CPM2005-46,SDM2005-54 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2005/5/20(から1日開催) |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MOVPE法によるR面サファイア上GaNの高速成長(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MOVPE of GaN on R-plane sapphire with high-growth rate |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | R面サファイア / R-plane Sapphire |
| キーワード(2)（和/英） | A面GaN / A-plane GaN |
| キーワード(3)（和/英） | 高速成長 / high-growth rate |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 古川 寛子 / Hiroko FURUKAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー" Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岡留 由真 / Yoshizane OKADOME |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー" Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 土屋 陽祐 / Yousuke TSUCHIYA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー" Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 本塩 彰 / Akira HONSHIO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー" Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 津田 道信 / Michinobu TSUDA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー":京セラ株式会社単結晶事業部 Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 岩谷 素顕 / Motoaki IWAYA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー" Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 上山 智 / Satoshi KAMIYAMA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー" Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 天野 浩 / Hiroshi AMANO |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー" Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 赤崎 勇 / Isamu AKASAKI |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院理工学研究科、21世紀COE"ナノファクトリー" Faculty of Science and Technology, Meijo University, 21_ |
| 発表年月日 | 2005/5/20 |
| 資料番号 | ED2005-54,CPM2005-46,SDM2005-54 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 94 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |