| 講演名 | 2005/5/20 MOVPE法による厚膜AlN成長(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料)) 藤元 直樹, 北野 司, 成田 剛, 井村 将隆, / 岩谷 素顕, 上山 智, 天野 浩, 赤崎 勇, 下野 健二, 野呂 匡志, 高木 俊, 坂東 章, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 高品質AlN結晶は、高効率深紫外発光素子実現のために必須といえる。本研究では、MOVPEによるAlNにおいて、成長温度を従来の報告より200℃以上高温で行った。その結果、成長条件を最適化することによって、AFMによる観察では、表面粗さ指数RMSが1Å程度の原子レベルで平坦なAlN膜が得られた。 |
| 抄録(英) | High-quality AlN is necessary to realize high-efficiency ultra violet (UV) light emitting diodes. In this study, AlN is grown at 200℃ higher than the growth temperature previously reported in the paper. As a result, high-quality AlN with surface roughness of 1Å was grown. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | AlN / MOVPE |
| 資料番号 | ED2005-35,CPM2005-27,SDM2005-35 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
|---|---|
| 開催期間 | 2005/5/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MOVPE法による厚膜AlN成長(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Growth of thick AlN by MOVPE |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / AlN |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 藤元 直樹 / N. Fujimoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 北野 司 / T. Kitano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 成田 剛 / G. Narita |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 井村 将隆 / M. Imura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | / 岩谷 素顕 / Krishnan Balakrishnan |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 上山 智 / M. Iwaya |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 天野 浩 / S. Kamiyama |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 赤崎 勇 / H. Amano |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 下野 健二 / I. Akasaki |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科・21世紀COEナノファクトリー Faculty of Science and Technology, 21st-Century COE Program "Nano-Factory", Meijo University |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 野呂 匡志 / K. Simono |
| 第 10 著者 所属（和/英） | イビデン株式会社 Ceramic Operation, Ibiden Company Limited |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 高木 俊 / T. Noro |
| 第 11 著者 所属（和/英） | イビデン株式会社 Ceramic Operation, Ibiden Company Limited |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 坂東 章 / T. Takagi |
| 第 12 著者 所属（和/英） | イビデン株式会社 Ceramic Operation, Ibiden Company Limited |
| 発表年月日 | 2005/5/20 |
| 資料番号 | ED2005-35,CPM2005-27,SDM2005-35 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 94 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |