| 講演名 | 2005/4/14 弾性表面波マスフローセンサの開発 : 遅延線型によるマスフローセンサ(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般) 小山 公一, 野村 徹, 齋藤 敦史, |
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| 抄録(和) | 弾性表面波の特徴を利用した気体のフローセンサについて述べる.まず, 測定原理および測定系を説明し本研究に用いる測定系を示した.続いて実験に用いたSAWフローセンサの概略と特性を述べ, 流量とSAWの速度変化における関係を調べた.さらに熱バイアスを定義し, それに基づいて熱バイアスの変化にともなう測定を行った.また, 測定対象となる気体と測定に用いたデバイス間の温度差を変化させ, デバイスの温度特性を調べた. |
| 抄録(英) | The flow sensor of the gases using the surface acoustic wave (SAW) is described. First, it proposed the measurement system that used SAW device was shown. Next, the outline and the characteristic of the SAW flow sensor used experiment were shown. The relation between the flow and the velocity change of the SAW was explained. In addition, the heat bias of the SAW flow device was defined, and the sensitivity of the flow sensor was measured in some bias point. Finally, the temperature characteristic of the gas flow sensor was measured. |
| キーワード(和) | 弾性表面波 / フローセンサ / 遅延線 |
| キーワード(英) | surface acoustic wave / flow sensor / delay line |
| 資料番号 | ED2005-8,SDM2005-8,OME2005-8 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2005/4/14(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 弾性表面波マスフローセンサの開発 : 遅延線型によるマスフローセンサ(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Surface Acoustic Wave Mass Flow Sensor : Mass flow sensor using SAW delay line |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波 / surface acoustic wave |
| キーワード(2)（和/英） | フローセンサ / flow sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 遅延線 / delay line |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 小山 公一 / Koichi KOYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野村 徹 / Toru NOMURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 齋藤 敦史 / Atsushi SAITOH |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2005/4/14 |
| 資料番号 | ED2005-8,SDM2005-8,OME2005-8 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 20 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |