講演名 2005/4/14
酸化半導体を用いた3チャンネル平面型匂いセンサーの特性(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般)
鍵山 大輔, 西 博樹, 森下 和則, 大多 英隆, 荒川 等, 安田 敬, 古川 昌司,
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抄録(和) 近年、食料品の鮮度測定や麻薬の取り締まり、及び化粧品等、匂いを発する製品の品質管理など、匂いセンサーのニーズは多い。匂いセンサーには、超音波振動子型、表面プラズモン型、酸化半導体型など、いくつかの種類がある。酸化半導体を用いた匂いセンサーにおいては、匂い物質が存在すると酸化半導体の表面状態が変化し、半導体の電気抵抗が変化する性質を利用する。我々は、円筒型の酸化半導体を用いた2チャンネル匂いセンサーを作製し、紅茶などの匂いの識別に成功している。今回、酸化半導体を用いた3チャンネル平面型匂いセンサーを作製し、紅茶などの匂いの識別を試みたので、それらの結果について報告する。
抄録(英) Recently, odor sensing systems are expected to be used for quality control of various products. Up to the present time, some kinds of odor sensing systems have been proposed. They are ultrasonic type, surface plasmon type, oxide semiconductor type, etc. In the oxide semiconductor type odor sensing system, the electric conductivity changes when odor material exists near the surface of oxide semiconductor. In this paper, we have fabricated three-channel planar type odor sensing system using oxide semiconductors, and succeeded in distinguishing among some kinds of tea.
キーワード(和) 匂いセンサー・システム / 酸化半導体 / 酸化スズ / 酸化亜鉛 / 酸化タングステン
キーワード(英) Odor Sensing System / Oxide Semiconductor / SnO_2 / ZnO / WO_3
資料番号 ED2005-4,SDM2005-4,OME2005-4
発行日

研究会情報
研究会 SDM
開催期間 2005/4/14(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Silicon Device and Materials (SDM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 酸化半導体を用いた3チャンネル平面型匂いセンサーの特性(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Three-Channel Planar Type Odor Sensing System Using Oxide Semiconductor
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 匂いセンサー・システム / Odor Sensing System
キーワード(2)(和/英) 酸化半導体 / Oxide Semiconductor
キーワード(3)(和/英) 酸化スズ / SnO_2
キーワード(4)(和/英) 酸化亜鉛 / ZnO
キーワード(5)(和/英) 酸化タングステン / WO_3
第 1 著者 氏名(和/英) 鍵山 大輔 / Daisuke KAGIYAMA
第 1 著者 所属(和/英) 九州工業大学・大学院情報工学研究科
Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 西 博樹 / Hiroki NISHI
第 2 著者 所属(和/英) 九州工業大学・大学院情報工学研究科
Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology
第 3 著者 氏名(和/英) 森下 和則 / Kazunori MORISHITA
第 3 著者 所属(和/英) 九州工業大学・大学院情報工学研究科
Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology
第 4 著者 氏名(和/英) 大多 英隆 / Hidetaka OHTA
第 4 著者 所属(和/英) 九州工業大学・大学院情報工学研究科
Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology
第 5 著者 氏名(和/英) 荒川 等 / Hitoshi ARAKAWA
第 5 著者 所属(和/英) 九州工業大学・大学院情報工学研究科
Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology
第 6 著者 氏名(和/英) 安田 敬 / Takashi YASUDA
第 6 著者 所属(和/英) 九州工業大学・大学院情報工学研究科
Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology
第 7 著者 氏名(和/英) 古川 昌司 / Shoji FURUKAWA
第 7 著者 所属(和/英) 九州工業大学・大学院情報工学研究科
Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology
発表年月日 2005/4/14
資料番号 ED2005-4,SDM2005-4,OME2005-4
巻番号(vol) vol.105
号番号(no) 20
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日