| 講演名 | 2004/12/9 陽極化成法によるp型シリコンのマクロポアおよび針状結晶の形成(<特集>シリコン関連材料の作製と評価) 御手洗 夕子, 原田 曠嗣, 石丸 寛之, 松本 晋, 森 圭子, |
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| 抄録(和) | フッ化水素の水溶旅中でp型シリコンに陽極化成を施すことにより,マクロポア及び針状結晶の形成が可能である.マクロボアの形成メカニズムは電気化学反応モデルで説明できる.針状結晶は,マクロボアの側壁が消滅し,マクロボアによって囲まれた支柱部が残ることにより形成される.また,マクロボアのピッチはシリコンの比抵抗に依存することを示す.陽極化成により形成したマクロポアから作製した微小電極は8V/μm以上で電界電子放出を示すことを確認した. |
| 抄録(英) | It is shown that the formations of the macropores and the needle crystals are possible by the anodic reaction of p-type silicon in the aqueous HF solution. The formation mechanism of the macropores is explained with the electrochemical reaction model. The formation of the needle crystals is attributed to the disappearance of the walls in the macropores, which leaves the beams at the corner of the macropores. Then the beams become the needle crystals. It is also described that the pitch of the macropores is determined by the resistivity of silicon. The microelectrodes were fabricated from the macroporous silicon formed by the anodic reaction, and the field emission from them was confirmed at the applied electric field of greater than 8 V/μm. |
| キーワード(和) | マクロポア / 針状結晶 / 陽極化成 / 多孔質シリコン |
| キーワード(英) | macropore / needle crystal / anodization / porous silicon |
| 資料番号 | SDM2004-195 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2004/12/9(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 陽極化成法によるp型シリコンのマクロポアおよび針状結晶の形成(<特集>シリコン関連材料の作製と評価) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The formation of the macropore and the needle crystal by the anodic reaction of p-type silicon |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マクロポア / macropore |
| キーワード(2)（和/英） | 針状結晶 / needle crystal |
| キーワード(3)（和/英） | 陽極化成 / anodization |
| キーワード(4)（和/英） | 多孔質シリコン / porous silicon |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 御手洗 夕子 / Yuko MITARAI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 島根大学大学院総合理工学研究科 Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Graduate School of Shimane University Faculty of Engineering, First University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 原田 曠嗣 / Hiroshi HARADA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 島根大学大学院総合理工学研究科 Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Graduate School of Shimane University Faculty of Engineering, First University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 石丸 寛之 / Hiroyuki ISHIMARU |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 島根大学総合理工学部 Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 松本 晋 / Shin MATSUMOTO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 島根大学総合理工学部 Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 森 圭子 / Keiko MORI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 島根大学総合理工学部 Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University |
| 発表年月日 | 2004/12/9 |
| 資料番号 | SDM2004-195 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 510 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |