| 講演名 | 2002/2/8 X線リソグラフィーによる微小プローブの製作と耐久性評価について 絹田 精鎮, 市野沢 義行, 菅原 裕彦, |
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| 抄録(和) | 微細でかつ高精度な3次元構造体を作製する手段として、X線リソグラフィーと電鋳技術を組み合わせたLIGAプロセスがある。本研究では、このLIGAプロセスを半導体検査システム等に用いられる微小プローブの製作に適用した。微小プローブの設計においては、有限要素法による解析を用いて最適形状を見出した。同時に、微小プローブ用の疲労試験機を試作し、LIGAプロセスで作製したプローブの繰り返し荷重による疲労耐久性試験を行った。 |
| 抄録(英) | Combination of X-ray lithography, called LIGA process, and electroforming technology allows fabrication of ultra-fine, high-precision three-dimensional metal components. In this study, micro-probes for IC testing have been fabricated with the LIGA/electroforming. The probe shape is optimized with finite-element analysis. A fatigue-evaluator is built to test the fatigue resistance of the micro-probes made with this technology. The fabrication process and fatigue testing are discussed in this paper. |
| キーワード(和) | X線リソグラフィー / 電鋳 / LIGA / プローブ / 耐久性試験 / マイクロマシン |
| キーワード(英) | X-ray Lithograph / Electroforming / LIGA / Probe / Endurance Test / Micromachine |
| 資料番号 | R2001-43,EMD2001-100 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 2002/2/8(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | X線リソグラフィーによる微小プローブの製作と耐久性評価について |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Micro-probes Using X-ray Lithography and Their Endurance Test |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | X線リソグラフィー / X-ray Lithograph |
| キーワード(2)（和/英） | 電鋳 / Electroforming |
| キーワード(3)（和/英） | LIGA / LIGA |
| キーワード(4)（和/英） | プローブ / Probe |
| キーワード(5)（和/英） | 耐久性試験 / Endurance Test |
| キーワード(6)（和/英） | マイクロマシン / Micromachine |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 絹田 精鎮 / Seichin KINUTA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 株式会社オプトニクス精密 Optnics Precision Co.,LTD. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 市野沢 義行 / Yoshiyuki ICHINOSAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 株式会社オプトニクス精密 Optnics Precision Co.,LTD. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 菅原 裕彦 / Hirohiko SUGAHARA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 発表年月日 | 2002/2/8 |
| 資料番号 | R2001-43,EMD2001-100 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 641 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |