講演名 2005/5/19
青色EL素子用SrS:Cu薄膜の急速アニール効果(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))
以西 雅章, 稲垣 優輝, 市川 哲章, 藤安 洋,
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抄録(和) 青色発光EL素子の高輝度化を目的として、SrS:Cu薄膜に急速アニールを実施し、結晶及び発光特性への効果を調査した。その結果、急速アニールにより、X線回折強度が増し、PL発光強度も増すことがわかった。本研究では、急速アニール条件について発表する。
抄録(英) A rapid thermal annealing process was applied to SrS:Cu films to improve the crystal and EL emission properties. The XRD (X-ray diffraction) and PL (photoluminescence) data were greatly improved through this process. An optimum annealing condition was 2min. annealing time under the temperature at 800℃.
キーワード(和) 青色EL素子 / SrS:Cu薄膜 / 急速熱処理
キーワード(英) Blue EL elements / SrS:Cu films / Rapid thermal annealing
資料番号 ED2005-31,CPM2005-23,SDM2005-31
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 2005/5/19(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 青色EL素子用SrS:Cu薄膜の急速アニール効果(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))
サブタイトル(和)
タイトル(英) Rapid thermal annealing of SrS:Cu films for blue EL elements
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 青色EL素子 / Blue EL elements
キーワード(2)(和/英) SrS:Cu薄膜 / SrS:Cu films
キーワード(3)(和/英) 急速熱処理 / Rapid thermal annealing
第 1 著者 氏名(和/英) 以西 雅章 / Masaaki Isai
第 1 著者 所属(和/英) 静岡大学工学部
Graduate School of Science & Engineering, Faculty of Engineering, Shizuoka University
第 2 著者 氏名(和/英) 稲垣 優輝 / Yuuki Inagaki
第 2 著者 所属(和/英) 静岡大学理工学研究科
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第 3 著者 氏名(和/英) 市川 哲章 / Tetsuaki Ichikawa
第 3 著者 所属(和/英) 静岡大学理工学研究科
Graduate School of Science & Engineering, Faculty of Engineering, Shizuoka University
第 4 著者 氏名(和/英) 藤安 洋 / Hiroshi Fujiyasu
第 4 著者 所属(和/英) 静岡大学工学部
発表年月日 2005/5/19
資料番号 ED2005-31,CPM2005-23,SDM2005-31
巻番号(vol) vol.105
号番号(no) 91
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日