| 講演名 | 2005/5/19 青色EL素子用SrS:Cu薄膜の急速アニール効果(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料)) 以西 雅章, 稲垣 優輝, 市川 哲章, 藤安 洋, |
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| 抄録(和) | 青色発光EL素子の高輝度化を目的として、SrS:Cu薄膜に急速アニールを実施し、結晶及び発光特性への効果を調査した。その結果、急速アニールにより、X線回折強度が増し、PL発光強度も増すことがわかった。本研究では、急速アニール条件について発表する。 |
| 抄録(英) | A rapid thermal annealing process was applied to SrS:Cu films to improve the crystal and EL emission properties. The XRD (X-ray diffraction) and PL (photoluminescence) data were greatly improved through this process. An optimum annealing condition was 2min. annealing time under the temperature at 800℃. |
| キーワード(和) | 青色EL素子 / SrS:Cu薄膜 / 急速熱処理 |
| キーワード(英) | Blue EL elements / SrS:Cu films / Rapid thermal annealing |
| 資料番号 | ED2005-31,CPM2005-23,SDM2005-31 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2005/5/19(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 青色EL素子用SrS:Cu薄膜の急速アニール効果(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Rapid thermal annealing of SrS:Cu films for blue EL elements |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 青色EL素子 / Blue EL elements |
| キーワード(2)（和/英） | SrS:Cu薄膜 / SrS:Cu films |
| キーワード(3)（和/英） | 急速熱処理 / Rapid thermal annealing |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Graduate School of Science & Engineering, Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 稲垣 優輝 / Yuuki Inagaki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学理工学研究科 / |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 市川 哲章 / Tetsuaki Ichikawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学理工学研究科 Graduate School of Science & Engineering, Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 藤安 洋 / Hiroshi Fujiyasu |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 |
| 発表年月日 | 2005/5/19 |
| 資料番号 | ED2005-31,CPM2005-23,SDM2005-31 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | 91 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |