講演名 | 2005/5/19 光化学堆積(PCD)法によるZnO薄膜の作製と評価(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料)) 東 雅紀, 宮脇 哲哉, 市村 正也, |
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抄録(和) | 光化学堆積(PCD)法によるZnS薄膜作製の研究においてZnOが生成したという報告を参考にPCD法によるZnO薄膜作製を試みた。ZnSO_4:50mM、Na_2SO_3:200mMを含む水溶液に0.1mMのNa_2S_2O_3を加え、酸素ガス(O_2)バブリングをすることでZnO薄膜が堆積可能であることが判明した。pH:11の溶液で作製した試料について光透過率測定、光電気化学測定を行ったところ、紫外域での光吸収とn型半導体であることを確認した。しかし、堆積速度は小さく、1時間の堆積で膜厚は0.02μmであった。 |
抄録(英) | We deposited ZnO by Photochemical deposition (PCD) method. The ZnO deposition solution contained ZnSO_4:50mM, Na_2SO_3:200mM. We added Na_2S_2O_3:0.1mM and bubbled oxygen gas (O_2) in this solution. The films deposited from an aqueous solution of pH:11 were characterized by photo transmission measurement and photochemical measurement, and were shown to have an absorption edge in a UV range and n-type conduction. The deposition rate was small and the film thickness was 0.02μm for 1 hour deposition. |
キーワード(和) | 光化学堆積(PCD)法 / 酸素ガス(O_2)バブリング / 光電気化学測定 / 水溶液 |
キーワード(英) | Photochemical deposition / oxygen gas (O_2) bubbling / Photoelectrochemical measurement / ZnO / aqueous solution |
資料番号 | ED2005-24,CPM2005-16,SDM2005-24 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
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開催期間 | 2005/5/19(から1日開催) |
開催地(和) | |
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テーマ(和) | |
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幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 光化学堆積(PCD)法によるZnO薄膜の作製と評価(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料)) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Deposition of ZnO thin films by the photochemical deposition method and their characterization |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 光化学堆積(PCD)法 / Photochemical deposition |
キーワード(2)(和/英) | 酸素ガス(O_2)バブリング / oxygen gas (O_2) bubbling |
キーワード(3)(和/英) | 光電気化学測定 / Photoelectrochemical measurement |
キーワード(4)(和/英) | 水溶液 / ZnO |
第 1 著者 氏名(和/英) | 東 雅紀 / Masaki AZUMA |
第 1 著者 所属(和/英) | 名古屋工業大学 Nagoya Institute of Technology |
第 2 著者 氏名(和/英) | 宮脇 哲哉 / Tetuya MIYAWAKI |
第 2 著者 所属(和/英) | 名古屋工業大学 Nagoya Institute of Technology |
第 3 著者 氏名(和/英) | 市村 正也 / Masaya ICHIMURA |
第 3 著者 所属(和/英) | 名古屋工業大学 Nagoya Institute of Technology |
発表年月日 | 2005/5/19 |
資料番号 | ED2005-24,CPM2005-16,SDM2005-24 |
巻番号(vol) | vol.105 |
号番号(no) | 91 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |