| 講演名 | 2004/10/15 低損失フォトニック結晶スラブ導波路の作製・評価と解析(化合物混晶半導体デバイス・材料(含むSiGe,ワイドギャップ半導体),一般) 倉持 栄一, / 新家 昭彦, 渡辺 俊文, / 納富 雅也, |
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| 抄録(和) | フォトニック結晶スラブ導波路の伝播損失の低減化に努め,作製したSi1列抜きエアブリッジ構造において5dB/cmの低伝播損失を達成した.その作製にあたっての電子線リソグラフィーの高精度化,測定方法,および測定結果について報告する.またフォトングリーン関数法による電磁界解析により測定された伝播損失特性をほぼ説明することに初めて成功したことについても触れる. |
| 抄録(英) | Recently, we successfully fabricated a Air/Si/Air one-row-removed photonic crystal slab waveguide with very low propagation loss of 5dB/cm. In this communication, we report highly precise electron beam lithography and loss measurement of Si-based photonic crystal slab waveguides. We also report very good agreement between measured loss spectrum and calculated one based on our new photon Green function formalism. |
| キーワード(和) | Photonic Crystal / Waveguide / Propagation Loss / SOI / Electron Beam Lithography / Photon Green Function |
| キーワード(英) | Photonic Crystal / Waveguide / Propagation Loss / SOI / Electron Beam Lithography / Photon Green Function |
| 資料番号 | ED2004-146,CPM2004-120,LQE2004-84 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2004/10/15(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 低損失フォトニック結晶スラブ導波路の作製・評価と解析(化合物混晶半導体デバイス・材料(含むSiGe,ワイドギャップ半導体),一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication, measurement, and numerical study of low propagation loss photonic crystal slab waveguides |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Photonic Crystal / Photonic Crystal |
| キーワード(2)（和/英） | Waveguide / Waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | Propagation Loss / Propagation Loss |
| キーワード(4)（和/英） | SOI / SOI |
| キーワード(5)（和/英） | Electron Beam Lithography / Electron Beam Lithography |
| キーワード(6)（和/英） | Photon Green Function / Photon Green Function |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 倉持 栄一 / Eiichi KURAMOCHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | / 新家 昭彦 / Stephen HUGHES |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 渡辺 俊文 / Akihiko SHINYA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | / 納富 雅也 / Toshifumi WATANABE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 発表年月日 | 2004/10/15 |
| 資料番号 | ED2004-146,CPM2004-120,LQE2004-84 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 360 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |