| 講演名 | 2005/1/20 水熱合成PZT多結晶膜を用いたMHz帯超音波トランスデューサ 石河 睦生, 黒澤 実, 遠藤 聡人, 竹内 真一, |
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| 抄録(和) | 水熱合成法を用いて50μmのチタン基板上に約50μmのPZT厚膜を形成し、8mm×8mmの金電極を蒸着して超音波トランスデューサを試作した。試作したトランスデューサの厚み振動モードを利用して水中においてMHz帯の超音波を放射し、送波特性を調査した。結果は周期50nsのパルスに近い超音波を放射することが出来た。放射された音の波形の周波数帯域は1MHzから20MHzにおいて±20dBの範囲に入っており、試作した超音波トランスデューサが広帯域な周波数の超音波を放射できることを示している。更に、広帯域特性を利用して、矩形波と同じ様に奇数高調波で構成される波形やノコギリ波と同じ様に奇数偶数高調波で構成される波形の超音波を放射できることを示した。また、周波数20MHz、伝播距離40mmの時の送波感度は180dB re. 1μPa/Vであり、高出力超音波の放射も期待できる。 | |
| 抄録(英) | Thickness vibration mode operating ultrasonic transducer was fabricated by hydrothermal deposition technique of lead zirconate titanate polycrystalline thick film. This hydrothermal polycrystalline PZT thick film (HPTF-PZT) ultrasonic transducer was researched on the wide frequency band transmitting characteristics. The transducer had 50 μm thick PZT layer on 50μm thick titanium substrate in an active area of 8 mm×8 mm square. The experimental results showed the HPTF-PZT ultrasonic transducer could radiate a single pulse ultrasound which included the frequency range from 1 to 20 MHz within 20dB deviation. Additionally, this transducer could generate a 2MHz sawtooth ultrasonic wave with odd and even order harmonic components from 2^| harmonics. These results indicated that the fabricated ultrasonic transducer has satisfactory wide band characteristics for MHz frequency range ultrasonic transmitter. | |
| キーワード(和) | 水熱合成法 / PZT多結晶膜 / トランスデューサ / 医用超音波 / 広帯域 / 高調波 | |
| キーワード(英) | ||
| 資料番号 | US2004-88 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2005/1/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 水熱合成PZT多結晶膜を用いたMHz帯超音波トランスデューサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | PZT thick film ultrasonic transducer for MHz frequency band fabricated by a hydrothermal poly crystal growth technique |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 水熱合成法 |
| キーワード(2)（和/英） | PZT多結晶膜 |
| キーワード(3)（和/英） | トランスデューサ |
| キーワード(4)（和/英） | 医用超音波 |
| キーワード(5)（和/英） | 広帯域 |
| キーワード(6)（和/英） | 高調波 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石河 睦生 / Mutsuo Ishikawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 総合理工学研究科 電子機能システム専攻 Department of Advanced Applied Electronics, Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 黒澤 実 / Minoru Kurosawa(Kuribayashi) |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 総合理工学研究科 電子機能システム専攻 Department of Advanced Applied Electronics, Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 遠藤 聡人 / Akito Endo |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 総合理工学研究科 電子機能システム専攻 Department of Advanced Applied Electronics, Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering Tokyo Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 竹内 真一 / Shinichi Takeuchi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 総合理工学研究科 電子機能システム専攻 Department of Advanced Applied Electronics, Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2005/1/20 |
| 資料番号 | US2004-88 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 612 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |