講演名 2004/9/10
張り出しの無い真直三脚音さを用いた水平横置き型圧電単結晶振動ジャイロの有限要素解析(一般・材料)
小板橋 竜雄, 岡田 恵也, 富川 義朗,
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抄録(和) 本報では、圧電振動ジャイロ・センサ用材料として水晶を含めた他の圧電単結晶材料の利用や機械加工などの安価な加工方法によるデバイス作製を日的に、従来考えられていた三脚音さ共振子を用いた水平横置き型のジャイロ・センサの検出原理について、有限要素解析により再検討を行った。その結果、L宇型の駆動脚は必ずしも必要がないことが判明した。そこで、張り出しの無い真直三脚音さを用いた水平横置き型圧電単結晶振動ジャイロ・センサを提案した。そして、水晶、ランガサイト及びニオブ酸リチウムといった圧電単結晶材料に対して、有限要素法による角速度検出特性の解析を行い、高感度化や小型化に対する有効性を示した。
抄録(英) In this paper, for applying piezoelectric crystal materials such as quartz crystal, langasite and lithium niobate to a flatly supported vibratory gyro-sensor, the operation principle were investigated in detail by finite element method analysis. As the results of simulations, it has been found that the shape of drive arm is not always necessary to L-shape. Depending upon this fact, a new type flatly supported vibratory gyro-sensor using a straight-arms-trident-type piezoelectric crystal tuning fork resonator is proposed here. This new shape sensor is able to be fabricated by machining process and is effective for such engineering requirements as high sensitivity and miniaturization.
キーワード(和) 振動ジャイロ・センサ / 三脚音さ / 水晶 / ランガサイト / ニオブ酸リチウム / 有限要素法
キーワード(英) Vibratory Gyro-sensor / Trident-Tuning-Fork / Quartz Crystal / Langasite / Lithium Niobate / Finaite Element Method
資料番号 US2004-54
発行日

研究会情報
研究会 US
開催期間 2004/9/10(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Ultrasonics (US)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 張り出しの無い真直三脚音さを用いた水平横置き型圧電単結晶振動ジャイロの有限要素解析(一般・材料)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Finite Element Method Analysis of Flatly Supported Vibratory Gyro-sensor Using a Straight-Arms-Trident-Type Piezoelectric Crystal Tuning Fork Resonator
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 振動ジャイロ・センサ / Vibratory Gyro-sensor
キーワード(2)(和/英) 三脚音さ / Trident-Tuning-Fork
キーワード(3)(和/英) 水晶 / Quartz Crystal
キーワード(4)(和/英) ランガサイト / Langasite
キーワード(5)(和/英) ニオブ酸リチウム / Lithium Niobate
キーワード(6)(和/英) 有限要素法 / Finaite Element Method
第 1 著者 氏名(和/英) 小板橋 竜雄 / Tatsuo Koitabashi
第 1 著者 所属(和/英) 長野県工業試験場
Industrial Research Institute of Nagano Prefecture
第 2 著者 氏名(和/英) 岡田 恵也 / Shigeya Okada
第 2 著者 所属(和/英) マイクロストーン(株)
MicroStone Co. Ltd.
第 3 著者 氏名(和/英) 富川 義朗 / Yoshiro Tomikawa
第 3 著者 所属(和/英) 山形大学工学部
Faculty of Engineering, Yamagata University
発表年月日 2004/9/10
資料番号 US2004-54
巻番号(vol) vol.104
号番号(no) 299
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日