講演名 | 1995/10/24 Fabrication and Characterization of Strip-shaped Diamond Field Emitter Arrays , |
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抄録(和) | |
抄録(英) | Strip-shaped diamond field emitter arrays were fabricated by using a transfer mold technique. V-grooves were formed on a single crystalline (100) silicon substrate by an orientation dependent etching(ODE) method. Diamond film was grown on V-grooved silicon substrate by chemical vapor deposition(CVD). Diamond field emitter arrays were formed by etching silicon substrates. I-V characteristics of the fabricated diamond field emitter arrays under 2 × 10^<-6> Torr showed very sharp turn- on characteristics. It is found from experiment that the transfer mold technique can be used for the fabrication of diamond field emitter arrays. It may be possible to use the strip-shaped diamond field emitter arrays for the field emission display(FED) applications. |
キーワード(和) | |
キーワード(英) | Diamond / Mold / Field emitter arrays / ODE / FED |
資料番号 | EID95-64 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | EID |
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開催期間 | 1995/10/24(から1日開催) |
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委員長氏名(和) | |
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幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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本文の言語 | ENG |
タイトル(和) | |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Fabrication and Characterization of Strip-shaped Diamond Field Emitter Arrays |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | / Diamond |
第 1 著者 氏名(和/英) | / Seong-Jin Kim |
第 1 著者 所属(和/英) | Division of Electronics and Information Technology, KIST |
発表年月日 | 1995/10/24 |
資料番号 | EID95-64 |
巻番号(vol) | vol.95 |
号番号(no) | 336 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |