講演名 1995/10/24
Fabrication and Characterization of Strip-shaped Diamond Field Emitter Arrays
,
PDFダウンロードページ PDFダウンロードページへ
抄録(和)
抄録(英) Strip-shaped diamond field emitter arrays were fabricated by using a transfer mold technique. V-grooves were formed on a single crystalline (100) silicon substrate by an orientation dependent etching(ODE) method. Diamond film was grown on V-grooved silicon substrate by chemical vapor deposition(CVD). Diamond field emitter arrays were formed by etching silicon substrates. I-V characteristics of the fabricated diamond field emitter arrays under 2 × 10^<-6> Torr showed very sharp turn- on characteristics. It is found from experiment that the transfer mold technique can be used for the fabrication of diamond field emitter arrays. It may be possible to use the strip-shaped diamond field emitter arrays for the field emission display(FED) applications.
キーワード(和)
キーワード(英) Diamond / Mold / Field emitter arrays / ODE / FED
資料番号 EID95-64
発行日

研究会情報
研究会 EID
開催期間 1995/10/24(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electronic Information Displays (EID)
本文の言語 ENG
タイトル(和)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Fabrication and Characterization of Strip-shaped Diamond Field Emitter Arrays
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) / Diamond
第 1 著者 氏名(和/英) / Seong-Jin Kim
第 1 著者 所属(和/英)
Division of Electronics and Information Technology, KIST
発表年月日 1995/10/24
資料番号 EID95-64
巻番号(vol) vol.95
号番号(no) 336
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日