| 講演名 | 1995/10/24 Improved method for optimisation of design parameters of a field emitter array , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | The effect of geometry changes on the field enhancement factor(β) of the field emitter was investigated for the optimum setting of design parameters. For the analysis, a three dimensional field emission simulator and Taguchi statistical methods were used. Unlike the previous reports, there does not exist strong dependence between β and the microtip radius(r). The geometrical changes that produces the greatest effect are the gate to microtip distance(d), cone half angle(θ), vertical tip height(h), and radius(r) in that order. The S/N(signal to noise) ratio results indicate that with design parameter values of as r = 30 nm, d=0.7 nm,θ=20-35, and h=1-1.5μm results in a stable design one with minimum sensitivity to process variations. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | Field Emitter / Field Enhancement Factor / Taguchi method |
| 資料番号 | EID95-62 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 1995/10/24(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Improved method for optimisation of design parameters of a field emitter array |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / Field Emitter |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / In-Jae Chung |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Microelectronics Centre, School of Electronic Eng, The Levels University of South Australia |
| 発表年月日 | 1995/10/24 |
| 資料番号 | EID95-62 |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 336 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |