| 講演名 | 1995/10/24 Field Emission from Silicon Tips Coated with Diamond-like Carbon , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | We have coated the silicon field emission tips with diamond-like carbon(DLC). The array of tips was made of n-type silicon using conventional dry etch. Before DLC coating, the tips were bombarded with argon ion to clean the surface. We found that this bombardment improved the aspect ratio of the tips and the DLC adhesion to the silicon tips. The DLC film was coated using r.f. plasma assisted-CVD using C_6H_6 gas. Initially, the end of the tips was coated with ball-shape DLC. The current-voltage curve was measured in 10^<-6> Torr pressure. The DLC-coated tips emitted current at lower onset voltage than as-prepared silicon tips. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | field emission array / diamond-like carbon, / flat panel display, / silicon field emitter |
| 資料番号 | EID95-61 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 1995/10/24(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Field Emission from Silicon Tips Coated with Diamond-like Carbon |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / field emission array |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Sanjo Lee |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Myong Ji University, Department of Physics |
| 発表年月日 | 1995/10/24 |
| 資料番号 | EID95-61 |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 336 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |