| 講演名 | 1999/2/5 反射形弾性表面波デバイスのセンサへの応用 内山 雅之, 斎藤 敦史, 神山 貴和, 野村 徹, |
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| 抄録(和) | 弾性表面波(Surface acoustic wave: SAW)は固体表面にエネルギーを集中し伝搬する為、伝搬路表面に周期的な摂動を与える事によって容易に大きな反射波を得る事ができる。この現象を利用する事により、一部分にエネルギーを集中させ、鋭い周波数選択性を持つ共振器タイプのセンサを構成できる。本報告では、液体中においてもエネルギーの放射が少ないSH (Shear horizontal) -mode SAWを用いて2-port SAW共振器を製作し、液体中でのセンシングを試みた。実験では、イオン溶液を負荷した時の共振特性の変化を調べ、次に液体フロー系システムを構成し、数種類のイオン溶液の識別を行った。その結果、イオンの種類により過渡応答が異なり、溶液の識別が可能なことが分かった。 |
| 抄録(英) | Since the energy of the surface acoustic wave (SAW) is confined largely to a zone at the surface approximately one acoustic wavelength thick, the waves are easy reflected by small perturbations on the surface. By using the phenomena, the SAW resonator having narrower bandwidths and higher Q-value is obtained. In this paper, resonators utilizing shear horizontal mode SAW (SH-SAW) have been used for sensing in ionic liquid properties. Two-port SH-SAW sensor was fabricated on 36° YX LiTaO_3 substrate and used as a sensing element of the liquid flow system. Experimental results show that the resonance frequency varied with the conductivity of the ionic solution. Especially, it was found that the SH-SAW resonator is very suitable for detecting element of the liquid flow system. |
| キーワード(和) | 弾性表面波 / SH-モード / SAW共振器 / フロー系システム / イオン溶液 |
| キーワード(英) | SAW / SH-mode / SAW resonator / flow system / ionic solution |
| 資料番号 | OEM98-129 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1999/2/5(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 反射形弾性表面波デバイスのセンサへの応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | SH-SAW resonator and its application on sensing of ionic solution |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波 / SAW |
| キーワード(2)（和/英） | SH-モード / SH-mode |
| キーワード(3)（和/英） | SAW共振器 / SAW resonator |
| キーワード(4)（和/英） | フロー系システム / flow system |
| キーワード(5)（和/英） | イオン溶液 / ionic solution |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 内山 雅之 / Masayuki UCHIYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 斎藤 敦史 / Atsushi SAITOH |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 神山 貴和 / Takakazu KAMIYAMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 野村 徹 / Tooru NOMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1999/2/5 |
| 資料番号 | OEM98-129 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 580 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |