| 講演名 | 2002/9/13 光スイッチアレイの開発 蟹江 智彦, 片山 誠, 須永 隆弘, 耕田 浩, |
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| 抄録(和) | 光スイッチは、フォトニックネットワークに必要不可欠なデバイスの一つであり、小型・高集積、高信頼性、低価格などが要求されている。我々は、これらの要求に応えるため平面導波路(PLC)とMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスを組み合わせた光スイッチアレイの開発を行った。16チャンネルの2×2クロス型PLCとマイクロミラーを持ったMEMSデバイスをフリップチップボンディング技術により接合し、500μm間隔で並列した光スイッチアレイを作製した。その結果、msecオーダーの切替時間で自己保持機能を持ち、振動・衝撃に耐えうる高い信頼性を持った光スイッチアレイを、従来の単チャンネルの光スイッチ1個分に相当するサイズで実現することができた。 |
| 抄録(英) | We propose a novel MEMS 2 x 2 optical switch array integrated with Planar Lightwave Circuit(PLC) for application to Optical Add Drop Multiplexes(OADM) in Wavelength Division Multiplexed(WDM) transmission systems. This switch array consists of two chip connected together by flip chip bonding. One is the MEMS device which has 16 channel latched silicon actuators with micro-minors, and the other is a PLC which has a 16 channel 2 x 2 cross type waveguide array. In order to achieve highly dense integration, the MEMS actuator has a long beam cantilever arranged with a 500 μm period. |
| キーワード(和) | 光通信 / 光スイッチアレイ / MEMS / 静電アクチュエータ / 平面導波路 / マイクロミラー |
| キーワード(英) | Optical Communication / Optical Switch Array / MEMS / Electro Static Actuator / PLC / Micromirror |
| 資料番号 | OME2002-55 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2002/9/13(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光スイッチアレイの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Optical Switch Array |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光通信 / Optical Communication |
| キーワード(2)（和/英） | 光スイッチアレイ / Optical Switch Array |
| キーワード(3)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(4)（和/英） | 静電アクチュエータ / Electro Static Actuator |
| キーワード(5)（和/英） | 平面導波路 / PLC |
| キーワード(6)（和/英） | マイクロミラー / Micromirror |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 蟹江 智彦 / Tomohiko KANIE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 片山 誠 / Makoto KATAYAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 須永 隆弘 / Takahiro SUNAGA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 耕田 浩 / Hiroshi KOHDA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 発表年月日 | 2002/9/13 |
| 資料番号 | OME2002-55 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 327 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |