| 講演名 | 2002/5/8 導電性AFM探針を用いた有機ナノSITの作製 村石 典生, 中村 雅一, 飯塚 正明, 工藤 一浩, 田中 國昭, |
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| 抄録(和) | 有機静電誘導トランジスタ(SIT)において、ゲート電極作製の際にLATEX球を蒸着マスクとして用い、ソース電極に導電性AFM探針を用いる事により、ナノスケールで動作する素子の作製を行った。LATEX球の付着条件を最適化し、ナノスケールの空隙を多数有するゲート電極の作製方法を確立した。作製した試料のSIT特性を測定したところ、I_ |
| 抄録(英) | We have fabricated on organic static induction transistor (SIT) in nanometer scale using a LATEX spheres as a shadow mask against gate electrode deposition and using a conductive AFM cantilever as a source electrode. Fabrication condition of the gate electrodes having nanometer-sized apertures was established by optimizing the deposition condition of LATEX spheres. Transistor characteristics, such as modulation of I_ |
| キーワード(和) | 静電誘導トランジスタ / AFM / 銅フタロシアニン / LATEX球 |
| キーワード(英) | Static Induction Transistor / AFM / CuPc / LATEX Sphere |
| 資料番号 | OME2002-15 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2002/5/8(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 導電性AFM探針を用いた有機ナノSITの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Organic Nano-SIT Using Conductive AFM Cantilevers |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 静電誘導トランジスタ / Static Induction Transistor |
| キーワード(2)（和/英） | AFM / AFM |
| キーワード(3)（和/英） | 銅フタロシアニン / CuPc |
| キーワード(4)（和/英） | LATEX球 / LATEX Sphere |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 村石 典生 / N Muraishi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千葉大学 工学部 電子機械工学科 Department of Electronics and Mechanical Engineering, Chiba University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中村 雅一 / M Nakamura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 千葉大学 工学部 電子機械工学科 Department of Electronics and Mechanical Engineering, Chiba University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 飯塚 正明 / M Iizuka |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 千葉大学 工学部 電子機械工学科 Department of Electronics and Mechanical Engineering, Chiba University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 工藤 一浩 / K Kudo |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 千葉大学 工学部 電子機械工学科 Department of Electronics and Mechanical Engineering, Chiba University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 田中 國昭 / K Tanaka |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 千葉大学 工学部 電子機械工学科 Department of Electronics and Mechanical Engineering, Chiba University |
| 発表年月日 | 2002/5/8 |
| 資料番号 | OME2002-15 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 47 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |