| 講演名 | 2001/10/19 マイクロ光実装技術 : 高分解能エンコーダ、マイクロ血流センサー 日暮 栄治, 澤田 廉士, |
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| 抄録(和) | ハイブリッド集積のために、アライメントマークを用いた光パッシブアライメント技術を開発した。様々な光部品(半導体レーザ、フォトダイオード、回折格子など)をシリコン基板上へハイブリッド集積する技術(表面実装)を用いて、高機能で信頼性が高く低コストなどマイクロセンサを実現できる。本技術を用いて、変位や回転角を測定する高分解能エンコーダや人の皮膚血流量をモニターする血流計などのマイクロセンサを開発した。センサ特性が良く、サイズが2×3mm^2と非常に小さいため、これらのセンサは多くの産業応用に対して大きな可能性を持っている。 |
| 抄録(英) | We have developed an optical passive algnment technique using alignment marks for hybrid integration. The hybrid integration of various optical components(laser diode, photodiode, grating, etc)on a silicon substrate(surface mounting)enables us to construct highly functional, reliable, and low-cost micro-sensors. Using this technique, several micro-sensors, including a high-resolution encoder that can measure the displacement or revolution angle, and a blood flowmeter that can monitor blood flow in human skin, have been developed. Because of their small size(2×3mm^2)with high performance, these sensors have a great potential for many industrial applications. |
| キーワード(和) | パッシブアライメント / 表面実装 / ハイブリッド集積 / マイクロセンサ / エンコーダ / 血流センサ |
| キーワード(英) | Passive alignment / Surface mounting / Hybrid integration / Micro-sensor / Encoder / Blood flowmeter |
| 資料番号 | OME2001-88 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2001/10/19(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | マイクロ光実装技術 : 高分解能エンコーダ、マイクロ血流センサー |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Micro Optical Mounting Technique : High-resolution encoder and micro blood flowmeter |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | パッシブアライメント / Passive alignment |
| キーワード(2)（和/英） | 表面実装 / Surface mounting |
| キーワード(3)（和/英） | ハイブリッド集積 / Hybrid integration |
| キーワード(4)（和/英） | マイクロセンサ / Micro-sensor |
| キーワード(5)（和/英） | エンコーダ / Encoder |
| キーワード(6)（和/英） | 血流センサ / Blood flowmeter |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 日暮 栄治 / Eiji HIGURASHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT通信エネルギー研究所 NTT Telecommunications Energy Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 澤田 廉士 / Renshi SAWADA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT通信エネルギー研究所 NTT Telecommunications Energy Laboratories |
| 発表年月日 | 2001/10/19 |
| 資料番号 | OME2001-88 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 396 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |