講演名 2001/8/15
分解熱検知型オゾンセンサの検知特性
中川 英元, 岡崎 慎司, 朝倉 祝治, 清水 博, 岩本 勇,
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抄録(和) オゾン発生器の濃度モニター用に、オゾンの分解熱を計測することでオゾンを定量するオゾンセンサを開発した。検知素子と補償素子を組にして周囲温度の変化を補償する。検知素子をオゾンが熱分解する高温で動作させ、補償素子をほぼ室温で動作させることで、触媒劣化のない長期間安定に動作するセンサを実現した。原料ガスの種類によって検知特性は変化するが、測定範囲内で良好な直線性と安定性が得られた。検知特性の原料ガス依存性はガスの熱伝導度の違いで説明できた。
抄録(英) Sensing characteristics of a newly developed ozone sensor is reported. The sensor measures temperature rise associated with ozone decomposition. A sensing device and a compensating device are utilized in pair to cancel the environmental temperature variations. The sensing device is operated above thermal decomposition temperature of ozone, whereas the compensating device is operated below that temperature. Signals of the two devices were electronically added to obtain temperature compensated ozone signal.
キーワード(和) オゾン / ガスセンサ / 分解熱 / 熱伝導度
キーワード(英) Ozone / Gas Sensor / Decomposition Heat / Thermal Conductivity
資料番号 OME2001-55
発行日

研究会情報
研究会 OME
開催期間 2001/8/15(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Organic Material Electronics (OME)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 分解熱検知型オゾンセンサの検知特性
サブタイトル(和)
タイトル(英) Characteristics of a Newly Developed Ozone Sensor
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) オゾン / Ozone
キーワード(2)(和/英) ガスセンサ / Gas Sensor
キーワード(3)(和/英) 分解熱 / Decomposition Heat
キーワード(4)(和/英) 熱伝導度 / Thermal Conductivity
第 1 著者 氏名(和/英) 中川 英元 / H. Nakagawa
第 1 著者 所属(和/英) 横浜国立大学大学院工学研究科
Faculty of Engineering, Yokohama National University
第 2 著者 氏名(和/英) 岡崎 慎司 / S. Okazaki
第 2 著者 所属(和/英) 横浜国立大学大学院工学研究科
Faculty of Engineering, Yokohama National University
第 3 著者 氏名(和/英) 朝倉 祝治 / S. Asakura
第 3 著者 所属(和/英) 横浜国立大学大学院工学研究科
Faculty of Engineering, Yokohama National University
第 4 著者 氏名(和/英) 清水 博 / H. Shimizu
第 4 著者 所属(和/英) 荏原実業株式会社
Ebara Jitsugyo Co. Ltd.
第 5 著者 氏名(和/英) 岩本 勇 / I. Iwamoto
第 5 著者 所属(和/英) 荏原実業株式会社
Ebara Jitsugyo Co. Ltd.
発表年月日 2001/8/15
資料番号 OME2001-55
巻番号(vol) vol.101
号番号(no) 253
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日