| 講演名 | 2001/8/15 Y-cut振動子を用いたガスセンサに関する研究 齋藤 敦史, 竹林 民佳, 浅利 征宏, 野村 徹, |
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| 抄録(和) | 本報告では、Y-cut水晶振動子を用いた吸着熱測定に基づくガスセンサの基礎的研究結果について述べる。水晶振動子を用いたガスセンサの場合、測定環境の温度変化がセンサ応答に影響しないように、室温付近においてほぼ零温度係数を有する A-cut振動子が用いられる。この振動子では、ガス分子の吸着によって生じる質量変化を検出している。一方、ガス分子がセンサに吸着すると、質量変化と共に吸着熱、あるいは蒸発熱といった熱の放出・吸収現象も生じる。そこで、本研究では、温度係数が大きい(約100ppm/℃)Y-cut振動子を用いたセンサについて検討を行った |
| 抄録(英) | In this report, the basic research of the Y-cut quartz resonator gas sensor based on the detection of the heat of adsorption is described. In general, AT-cut resonator has been used for the sensor device to prevent the influence of temperature change. Although the sensor detects the mass change by the gas molecule adsorption, the adsorption of the molecule is accompanied by the emission of heat of adsorption. Then, we examined the sensor that detected the heat emission when the gas molecule was adsorbed. In order to enable that, Y-cut resonator with the temperature characteristic of about 100ppm/℃ around room temperature was used as a sensor device. |
| キーワード(和) | Y-cut水晶振動子 / 吸着熱 / ガスセンサ |
| キーワード(英) | Y-cut quartz resonator / heat of adsorption / Gas sensor |
| 資料番号 | OME2001-49 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2001/8/15(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Y-cut振動子を用いたガスセンサに関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study of Gas Sensor using Y-cut Quartz Resonator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Y-cut水晶振動子 / Y-cut quartz resonator |
| キーワード(2)（和/英） | 吸着熱 / heat of adsorption |
| キーワード(3)（和/英） | ガスセンサ / Gas sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 齋藤 敦史 / Atsushi Saitoh |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Department of Communication Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 竹林 民佳 / Tamiyoshi Takebayashi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Department of Communication Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 浅利 征宏 / Yukihiro Asari |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Department of Communication Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 野村 徹 / Tooru Nomura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Department of Communication Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2001/8/15 |
| 資料番号 | OME2001-49 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 253 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |